5 / 12
В.Е. Драч
8
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение. 2017. № 1
тем, что наиболее существенный сдвиг наблюдается между первым и вторым из-
мерениями
I
d
–V
g
при последовательных измерениях [7, 8]. Следовательно, влия-
нием захваченных зарядов на подпороговый наклон при последовательных изме-
рениях можно пренебречь. Таким образом, не следует ожидать, что первые две
кривые
I
d
(
V
g
) будут параллельны друг другу. Однако это не следует явным обра-
зом из проведенных экспериментов. Другими словами, кривые, представленные
на рис. 2, демонстрируют, что большая часть медленных приграничных ловушек
не заряжается неосновными носителями в подпороговой области.
Рис. 2.
Кривые
проходных характеристик
(
1
,
2
) и ТСПХ в подпороговой области
в полулогарифмическом масштабе (после-
довательно измеренные проходные харак-
теристики и кривая ТСПХ примерно парал-
лельны друг другу) при
J
g
= 5,71 мA/cм
2
в течение 10
4
с,
W/L
= 50/0,35 мкм/мкм,
V
d
= 0,1 В,
V
su
b
= 0,1 В
Учитывая изложенное выше, смещение последовательно измеренных про-
ходных характеристик
I
d
(
V
g
) или ТСПХ (Δ
I
d
, TC
) обусловлено захватом неоснов-
ных носителей заряда на медленные приграничные ловушки в линейной обла-
сти при первом измерении
I
d
–V
g
. Захваченные заряды накладывают дополни-
тельный поверхностный потенциал (ΔΨ
s
) и влияют на смещение тока стока
вдоль оси
V
g
. Для удобства изучения ТСПХ используем поверхностный потен-
циал Ψ
s
для выражения параметров тока стока в подпороговой области. По-
скольку поверхностный потенциал линейно зависит от величины
V
g
в подпоро-
говой области [9]
2
0
0
2
2 1
2
2
,
si
b
si
b
s
g
fb
g
ox
ox
qN
qN V V V
C
C
выводы, сделанные для поверхностного потенциала, можно применить и к экс-
периментальным результатам, относящимся к напряжению
V
g
.
Очевидно, что через значение поверхностного потенциала Ψ
s
можно выра-
зить ток стока в подпороговой области [9]
2
2
1
,
2
s
d
q
qV
si
a
i
kT
kT
d eff
s
a
qN W kT n
I
e
e
L
q N