Previous Page  5 / 12 Next Page
Information
Show Menu
Previous Page 5 / 12 Next Page
Page Background

В.Е. Драч

8

ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение. 2017. № 1

тем, что наиболее существенный сдвиг наблюдается между первым и вторым из-

мерениями

I

d

–V

g

при последовательных измерениях [7, 8]. Следовательно, влия-

нием захваченных зарядов на подпороговый наклон при последовательных изме-

рениях можно пренебречь. Таким образом, не следует ожидать, что первые две

кривые

I

d

(

V

g

) будут параллельны друг другу. Однако это не следует явным обра-

зом из проведенных экспериментов. Другими словами, кривые, представленные

на рис. 2, демонстрируют, что большая часть медленных приграничных ловушек

не заряжается неосновными носителями в подпороговой области.

Рис. 2.

Кривые

проходных характеристик

(

1

,

2

) и ТСПХ в подпороговой области

в полулогарифмическом масштабе (после-

довательно измеренные проходные харак-

теристики и кривая ТСПХ примерно парал-

лельны друг другу) при

J

g

= 5,71 мA/cм

2

в течение 10

4

с,

W/L

= 50/0,35 мкм/мкм,

V

d

= 0,1 В,

V

su

b

= 0,1 В

Учитывая изложенное выше, смещение последовательно измеренных про-

ходных характеристик

I

d

(

V

g

) или ТСПХ (Δ

I

d

, TC

) обусловлено захватом неоснов-

ных носителей заряда на медленные приграничные ловушки в линейной обла-

сти при первом измерении

I

d

–V

g

. Захваченные заряды накладывают дополни-

тельный поверхностный потенциал (ΔΨ

s

) и влияют на смещение тока стока

вдоль оси

V

g

. Для удобства изучения ТСПХ используем поверхностный потен-

циал Ψ

s

для выражения параметров тока стока в подпороговой области. По-

скольку поверхностный потенциал линейно зависит от величины

V

g

в подпоро-

говой области [9]

2

0

0

2

2 1

2

2

,

si

b

si

b

s

g

fb

g

ox

ox

qN

qN V V V

C

C

 

 

  

 

выводы, сделанные для поверхностного потенциала, можно применить и к экс-

периментальным результатам, относящимся к напряжению

V

g

.

Очевидно, что через значение поверхностного потенциала Ψ

s

можно выра-

зить ток стока в подпороговой области [9]

2

2

1

,

2

s

d

q

qV

si

a

i

kT

kT

d eff

s

a

qN W kT n

I

e

e

L

q N

   

 



 

 

 

 