Анализ сдвига проходных характеристик МДП-транзистора

ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение. 2017. № 1

бильности тесно связаны с зарядовым состоянием медленных приграничных

ловушек: а именно, обусловлены положительно заряженными медленными

приграничными ловушками или отжигом нестабильных медленных состояний.

Эта нестабильность может быть использована для изучения различных свойств

и отслеживания медленных приграничных ловушек.

Сдвиг проходных характеристик МДП-транзистора, полученных в результа-

те последовательных измерений, обусловлен захватом (рекомбинацией) мед-

ленных приграничных ловушек [6–8].

Цель настоящей работы — попытка ответить на вопрос: как медленные при-

граничные ловушки заряжаются неосновными носителями заряда во время из-

мерений проходных характеристик. Детальное рассмотрение поможет понять

причины возникновения максимальных значений для разности проходных ха-

рактеристик. Для проведения анализа предложено разделить развертку на под-

пороговую и линейную области.

Измерительное оборудование.

Измерительный комплекс аналогичен приме-

ненному в работе [7] комплексу и включает в себя комплект измерительного

оборудования и герметичную камеру, в которую помещают тестовый образец.

Полный комплект измерительного оборудования состоит из персонального ком-

пьютера (ПЭВМ), прецизионного анализатора параметров полупроводниковых

приборов HP4156A, генератора импульсов HP8110A, контроллера температуры

MMR K-20, исследовательской станции производства

MMR Technologies

и вакуум-

ного насоса. Структурная схема измерительного комплекса приведена на рис. 1.

Рис. 1.

Структурная схема измерительного комплекса

Все измерения и стрессовые воздействия выполняют с помощью прибора

HP4156A. Тестовый образец устанавливают в камеру, температуру которой кон-

тролирует контроллер MMR K-20. Для обеспечения низкого значения тока

утечки при соединении камеры и прибора HP4156A используют триаксиальные

кабели, а вакуумный насос создает давление около 5·10

–6

мм рт. ст. в камере для

устранения влажности и влияния внешней среды. Автоматическое управление

измерительным комплексом осуществляется персональным компьютером. Для

соединения всех приборов использована интерфейсная шина общего назначе-

ния (General Purpose Interface Bus, GPIB), стандарт IEC-625 (МЭК 625.1).