| 
Поиск по ключевому слову "тонкие пленки"
Формирование фотокаталитических пленок TiO2 методом реактивного магнетронного распыления с применением квазизамкнутого пространства
| Авторы: Шашин Д.Е., Дьячков А.Д. | Опубликовано: 02.10.2024 |
| Опубликовано в выпуске: #3(148)/2024 | |
| DOI: | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Проектирование и технология приборостроения и радиоэлектронной аппаратуры | |
| Ключевые слова: диоксид титана, тонкие пленки, фотокатализ, квазизамкнутое пространство, магнетронное распыление | |
Активный технологический контроль синтеза тонких пленок при производстве сверхбольших интегральных схем
| Авторы: Образцов Д.В., Чернышов В.Н., Шахнов В.А. | Опубликовано: 28.11.2017 |
| Опубликовано в выпуске: #6(117)/2017 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2017-6-17-27 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Проектирование и технология приборостроения и радиоэлектронной аппаратуры | |
| Ключевые слова: тонкие пленки, напыление в вакууме, активный контроль, производство, сверхбольшие интегральные схемы | |
Оценка погрешностей измерения толщин многослойных пленочных покрытий методом спектральной рефлектометрии
| Авторы: Цепулин В.Г., Толстогузов В.Л., Степанов Р.О., Карасик В.Е. | Опубликовано: 28.05.2017 |
| Опубликовано в выпуске: #3(114)/2017 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2017-3-4-12 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Методы и приборы контроля и диагностики материалов, веществ и природной среды | |
| Ключевые слова: многослойные пленочные структуры, рефлектометрия, профи-лометрия, тонкие пленки, погрешность измерения толщин | |
Измерение распределения толщин многослойных пленочных структур методами спектральной рефлектометрии
| Авторы: Цепулин В.Г., Толстогузов В.Л., Карасик В.Е., Перчик А.В., Арефьев А.П. | Опубликовано: 15.06.2016 |
| Опубликовано в выпуске: #3(108)/2016 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2016-3-3-12 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Приборы и методы измерения | |
| Ключевые слова: многослойные пленочные структуры, рефлектометрия, профилометрия, акусто-оптический фильтр, тонкие пленки | |
Измерение толщины тонких пленок нефти на водной поверхности по второй производной коэффициента отражения
| Авторы: Белов М.Л., Городничев В.А., Козинцев В.И., Федотов Ю.В. | Опубликовано: 02.03.2014 |
| Опубликовано в выпуске: #2(75)/2009 | |
| DOI: | |
| Раздел: Лазерные и оптико-электронные системы | |
| Ключевые слова: водная поверхность, нефть, тонкие пленки, лазер | |