| 
Поиск по ключевому слову "напыление в вакууме"
Активный технологический контроль синтеза тонких пленок при производстве сверхбольших интегральных схем
| Авторы: Образцов Д.В., Чернышов В.Н., Шахнов В.А. | Опубликовано: 28.11.2017 |
| Опубликовано в выпуске: #6(117)/2017 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2017-6-17-27 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Проектирование и технология приборостроения и радиоэлектронной аппаратуры | |
| Ключевые слова: тонкие пленки, напыление в вакууме, активный контроль, производство, сверхбольшие интегральные схемы | |