Активный технологический контроль синтеза тонких пленок при производстве сверхбольших интегральных схем

Рассмотрен метод активного технологического контроля электрофизических параметров тонких пленок, используемый при производстве сверхбольших интегральных схем. Приведен алгоритм реализации этого метода в целях достижения минимально допустимых отклонений параметров пленок, что позволяет производить такие схемы по более прогрессивным проектным нормам

Литература

[1] Корнюхин А.В., Курдюков С.А., Ланцев А.Н., Старилов М.В. Особенности проектирования фотошаблонов для производства наноразмерных полупроводниковых СБИС // Наноматериалы и наноструктуры — XXI век. 2012. № 2. С. 26–35.

[2] Mode optimization of retrograde pocket doping in SOI-MOS VLSI transistors / A.V. Amirkhanov, S.I. Volkov, A.A. Glushko, L.A. Zinchenko, V.V. Makarchuk, V.A. Shakhnov // Russian Microelectronics. 2016. Vol. 45. No. 4. P. 237–241. DOI: 10.1134/S106373971604003X URL: https://link.springer.com/article/10.1134/S106373971604003X

[3] Беспалов В.А., Дьяконов В.М., Коршунов A.B. Методы уменьшения статической мощности, потребляемой наноразмерными СБИС // Успехи современной радиоэлектроники. 2012. № 10. С. 36–42.

[4] Качемцев А.Н., Киселев В.К., Смолин В.К. Технологические принципы изготовления перспективной энергонезависимой памяти // Нано- и микросистемная техника. 2015. № 7. С. 13–26.

[5] Панфилов Ю.В. Нанесение тонких пленок в вакууме // Технологии в электронной промышленности. 2007. № 3. С. 76–80.

[6] Введение в физику поверхности / К. Оура, В.Г. Лифшиц, А.А. Саранин, А.В. Зотов, М. Катаяма. М.: Наука, 2006. 490 с.

[7] Влияние давления рабочего газа на компонентный состав и свойства тонких пленок титаната бария-стронция / А.В. Тумаркин, А.Ю. Попов, М.В. Злыгостов, С.В. Разумов, А.Г. Гагарин // Электроника и микроэлектроника СВЧ. 2016. Т. 2. № 1. С. 124–128.

[8] Способ синтеза наноструктурной пленки на изделии и устройство для его реализации / Д.В. Образцов, В.В. Гумбин, В.П. Шелохвостов, В.Н. Чернышов, М.В. Макарчук. Патент РФ 2466207. Заявл. 23.12.2010, опубл. 10.11.2012.

[9] Образцов Д.В., Чернышов В.Н., Шелохвостов В.П. Метод и система активного технологического контроля синтеза нанообъектов // Наноинженерия. 2015. № 8. С. 27–32.

[10] Kilimnik A.B., Nikiforova E.Y. Electrochemical behavior of nickel and its oxides in concentrated sodium hydroxide solutions // Russian Journal of Electrochemistry. 2013. Vol. 49. No. 12. P. 1122–1126. DOI: 10.1134/S1023193513120033 URL: https://link.springer.com/article/10.1134/S1023193513120033

[11] Платенкин А.В., Шелохвостов В.П., Баршутин С.Н. Разработка устройства воздействия электромагнитными полями на процесс плазмохимического синтеза нанообъектов // Вестник Тамбовского университета. Сер. Естественные и технические науки. 2010. Т. 15. № 1. С. 240–241.