| 
Поиск по ключевому слову "профилометрия"
Измерение распределения толщин многослойных пленочных структур методами спектральной рефлектометрии
| Авторы: Цепулин В.Г., Толстогузов В.Л., Карасик В.Е., Перчик А.В., Арефьев А.П. | Опубликовано: 15.06.2016 |
| Опубликовано в выпуске: #3(108)/2016 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2016-3-3-12 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Приборы и методы измерения | |
| Ключевые слова: многослойные пленочные структуры, рефлектометрия, профилометрия, акусто-оптический фильтр, тонкие пленки | |