| 
Поиск по ключевому слову "квазизамкнутое пространство"
Формирование фотокаталитических пленок TiO2 методом реактивного магнетронного распыления с применением квазизамкнутого пространства
| Авторы: Шашин Д.Е., Дьячков А.Д. | Опубликовано: 02.10.2024 |
| Опубликовано в выпуске: #3(148)/2024 | |
| DOI: | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Проектирование и технология приборостроения и радиоэлектронной аппаратуры | |
| Ключевые слова: диоксид титана, тонкие пленки, фотокатализ, квазизамкнутое пространство, магнетронное распыление | |