| 
Поиск по ключевому слову "погрешность измерения толщин"
Оценка погрешностей измерения толщин многослойных пленочных покрытий методом спектральной рефлектометрии
| Авторы: Цепулин В.Г., Толстогузов В.Л., Степанов Р.О., Карасик В.Е. | Опубликовано: 28.05.2017 |
| Опубликовано в выпуске: #3(114)/2017 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2017-3-4-12 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Методы и приборы контроля и диагностики материалов, веществ и природной среды | |
| Ключевые слова: многослойные пленочные структуры, рефлектометрия, профи-лометрия, тонкие пленки, погрешность измерения толщин | |