Анализ распределения интенсивности света, дифрагированно-
го на ФДР, при изменении глубины рельефа ФДР.
Нарис. 3 предста-
влены графики функций
I
1
(
β
)
и
I
2
(
β
)
в зависимости от угла наблю-
дения
β
для транспарантов с квазисинусоидальным и прямоугольным
профилями, при освещении их светом с длиной волны
λ
= 0
,
55
мкм и
углом подсветки
α
= 40
◦
.
Рис. 3 (начало). Графики функций
I
1
(
β
)
(сплошная линия) и
I
2
(
β
)
(штриховая)
в зависимости от угла наблюдения
β
для транспаранта с квазисинусоидальным
профилем рельефа;
λ
= 0
,
55
мкм,
T
= 2
,
5
мкм,
A
= 0
,
32
мкм (
а
), 0,36 мкм (
б
);
H
= 0
,
51
(
в
), 0,31 мкм (
г
);
α
= 1
,
5
мкм (
в, г
)
20 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2005. № 4