Магнитная компенсация нулевого сигнала в гибридном двухкоординатном МЭМС-гироскопе R-R-R-типа - page 10

[2] Konovalov S.F., Ponomarev Yu.A., Maiorov D.V., Podchezercev V.P.,
Sidorov A.G. Hybrid microelectromechanical gyroscopes and acceleration gages.
Nauka Obraz. MGTU im. N.E. Baumana. Elektron. Zh. [Sci. Educ. Bauman
Moscow State Tech. Univ. Electron. J.], 2011, no. 10 (in Russ.). URL.
http://technomag.edu.ru/doc/219257.html
[3] Konovalov S.F., e.a. Mikromekhanicheskiy vibratsionnyy giroskop [A vibrating
micromechanical gyroscope]. Patent RF, no. 2010120200/28(028737), 2010.
[4] Saukoski M., Aaltonen L., Halonen K.A.I. Zero-rate output and quadrature
compensation in vibratory MEMS gyroscopes. IEEE Sens. J., 2007, no. 12, pp. 1639–
1651.
[5] Hsu Y.W. Method of cancelling quadrature error in an angular rate sensor: Patent
US, no. 6370937, 2002.
[6] Stewart R.E., Wyse S.F. Bias and quadrature reduction in class II coriolis vibratory
gyros. Patent US, no. 7565839, 2009.
[7] Weber M.W., Smith R.B. Quadrature reduction in MEMS gyro devices using quad
steering voltages: Patent US, no. 7213458, 2007.
[8] Yeh B.Y., Liang Y.C. Modelling and compensation of quadrature error for silicon
MEMS microgyroscope. IEEE Trans. Power Electr. Drive Syst., 2001, vol. 2, pp. 871–
876.
[9] Seeger J., Astegar A., Tormey M.T. Method and apparatus for electronic cancellation
of quadrature error. Patent US, no. 7290435, 2007.
Статьяпоступила в редакцию 20.02.2013
Сергей Феодосьевич Коновалов — д-р техн. наук, профессор, заведующий ка-
федрой “Приборы и системы ориентации, стабилизации и навигации” МГТУ
им. Н.Э. Баумана. Автор более 110 научных работ, 80 патентов и четырех книг по
вопросам гироприборов, акселерометров, МЭМС-технологии.
МГТУ им. Н.Э. Баумана, РоссийскаяФедерация, 105005, Москва, 2-яБауманскаяул.,
д. 5.
S.F. Konovalov — Dr. Sci. (Eng.), professor, head of “Instruments and Systems of
Orientation, Stabilization and Navigation” department of the Bauman Moscow State
Technical University. Author of more than 110 publications, 80 patents and four books in
the field of gyro-instruments, accelerometers, MEMS technology.
Bauman Moscow State Technical University, Vtoraya Baumanskaya ul., 5, Moscow,
105005 Russian Federation.
Денис Владимирович Майоров — канд. техн. наук. Автор ряда научных работ в обла-
сти микроэлектромеханических гироскопов и акселерометров.
МГТУ им. Н.Э. Баумана, РоссийскаяФедерация, 105005, Москва, 2-яБауманскаяул.,
д. 5.
D.V. Maiorov — Cand. Sci. (Eng.). Author of a number of publications in the field of
microelectromechanical gyros and accelerometers.
Bauman Moscow State Technical University, Vtoraya Baumanskaya ul., 5, Moscow,
105005 Russian Federation.
Юрий Анатольевич Пономарев — ассистент кафедры “Приборы и системы ориента-
ции, стабилизации и навигации” МГТУ им. Н.Э. Баумана. Автор ряда научных работ
в области микроэлектромеханических гироскопов и акселерометров.
МГТУ им. Н.Э. Баумана, РоссийскаяФедерация, 105005, Москва, 2-яБауманскаяул.,
д. 5.
Yu.A. Ponomarev — assistant lecturer of “Instruments and Systems of Orientation,
Stabilization and Navigation” department of the Bauman Moscow State Technical
University. Author of a number of publications in the field of microelectromechanical
gyros and accelerometers.
Bauman Moscow State Technical University, Vtoraya Baumanskaya ul., 5, Moscow,
105005 Russian Federation.
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 4 131