Магнитная компенсация нулевого сигнала в гибридном двухкоординатном МЭМС-гироскопе R-R-R-типа - page 6

Рис. 7. Распределение магнитной индукции в радиальном направлении (обозна-
чения см. рис. 6)
радиальной (
В
2
) составляющих магнитной индукции для случая, изо-
браженного на рис. 5. Значенияиндукции даны дляслоев воздушного
зазора, соответствующих расположению нечетных обмоток (на рас-
стоянии 50 мкм от обращенных к маятнику торцевых поверхностей
магнита и вкладыша). На рисунках обозначены зоны, соответствую-
щие диаметру магнита (
D
) и ширине обмотки возбуждения(
h
).
Из рис. 7 следует, что при отсутствии профилированияторцевой
поверхности магнитопровода радиальнаясоставляющаямагнитного
поля(кривая
1
) в зоне расположенияобмотки (
h
) симметрична отно-
сительно центральных витков обмотки возбуждения. В связи с этим в
датчиках отсутствует сила
F
2
аксиальной направленности.
На рис. 8 показана расчетнаясхема дляслучаямагнитопровода со
скошенным на 10
торцом. Распределение индукции (в тех же слоях
воздушного зазора, что и дляварианта рис. 5) в аксиальном и ради-
альном направлениях показано на рис. 6 и 7 (кривые
2
). Видно, что
скос незначительно изменил аксиальную составляющую магнитной
индукции
B
1
и, следовательно, тангенциальную составляющую маг-
нитоэлектрической силы
F
1
, а распределение радиальной индукции
B
2
стало несимметричным. В результате асимметрии распределения
B
2
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 4 127
1,2,3,4,5 7,8,9,10
Powered by FlippingBook