ного сеченияупругих балок подвеса на 1 мкм дает уровень нулевого
сигнала 400
◦
/c, т.е. превышает на 2 порядка возможности рассматри-
ваемого способа компенсации. Таким образом, в МЭМС-гироскопах
рассматриваемый метод компенсации рекомендуетсяиспользовать ли-
бо в случаях качественного изготовления маятников, либо на конечных
этапах настройки гироскопа, сочетаяданный метод с другими, осно-
ванными на дополнительном профилировании балок упругого подве-
са, выполняемом на этапе изготовления маятника методами фотолито-
графии и травления[1].
Результаты исследований получены в процессе выполнения НИР
“Разработка интегрированного микроэлектромеханического датчи-
ка угловых скоростей для гироскопа высокоскоростного транспор-
та” по ГК № 16.513.11.3055 в рамках мероприятия 1.3 федеральной
целевой программы “Исследования и разработки по приоритетным
направлениям развития научно-технологического комплекса России на
2007–2013 годы”.
ЛИТЕРАТУРА
1.
Двухкоординатный
микромеханический ДУС с магнитоэлектрическими датчи-
ками обратной связи по каналам возбужденияи измерения/ С.Ф. Коновалов,
В.П. Подчезерцев, Д.В. Майоров и др. // Гироскопияи навигация. 2010. № 3
(70). С. 61–71.
2.
Коновалов С.Ф.
,
Пономарев Ю.А.
,
Майоров Д.В.
,
Подчезерцев В.П.
,
Сидоров А.Г.
Гибридные микроэлектромеханические гироскопы и акселерометры // Наука и
образование. 2011. URL.
3.
Положительное
решение по заявке на изобретение: Микромеханический ви-
брационный гироскоп: № 2010120200/28(028737) РФ / С.Ф. Коновалов и др.,
заявл. 21.05.2010.
4.
Saukoski M.
,
Aaltonen L.
,
Halonen K.A.I.
Zero-rate output and quadrature
compensation in vibratory MEMS gyroscopes // Sensors Journal, IEEE. 2007. № 12.
P. 1639–1651.
5.
Method
of cancelling quadrature error in an angular rate sensor: Pat. 6370937 USA,
Int. Cl. G01P 9/04 / Y.W. Hsu; Microsensors, Inc. Appl. No. 09/812147. 2002.
6.
Bias
and quadrature reduction in class II Coriolis vibratory gyros: Pat. 7565839
USA, Int. Cl. G01P 9/04 / R.E. Stewart, S.F. Wyse; Northrop Grumman Guidance
and Electronics Company, Inc. Appl. No. 11/499957. 2009.
7.
Quadrature
reduction in MEMS gyro devices using quad steering voltages: Pat.
7213458 USA, Int. Cl. G01P 9/04 / M.W. Weber, R.B. Smith; Honeywell
International, Inc. Appl. No. 10/907131. 2007.
8.
Yeh B.Y.
,
Liang Y.C.
Modelling and compensation of quadrature error for silicon
MEMS microgyroscope // IEEE Power Electronics and Drive Systems: Proceedings.
2001. Vol. 2. P. 871–876.
9.
Method
and apparatus for electronic cancellation of quadrature error: Pat. 7290435
USA / J. Seeger, A. Astegar, M.T. Tormey. 2007.
REFERENCES
[1] Konovalov S.F., Podchezertsev V.P., Mayorov D.V., Ponomarev Yu.A., Sidorov A.G.,
Park H.W., Kwon N.Y., Li G.S., Seo J.B. Two-coordinate micromechanical rate
sensor with magnetoelectric torques of a feedback on channels of excitation and
measurement.
Giroskopiya i Navig.
[Gyroscopy and Navig.], 2010, no. 3, pp. 61–71
(in Russ).
130 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 4
