Рис. 10. Увеличенные графики для определения компенсационных сил
F
2
по сравнению со случаем скошенных торцов. Длярасчетов сил
F
2
удобно пользоватьсяграфиками, приведенными на рис. 10. Видно, что
уровень разности индукции при использовании ступенчатой головки
вдвое больше, чем дляслучаярегулировочной головки со скошенным
торцом.
Оценим значение нулевого сигнала гироскопа, которое можно
скомпенсировать путем разворота регулировочных головок со сту-
пеньками, при следующих параметрах МЭМС-гироскопа: диаметр
маятника 18 мм, толщина маятника 0,38 мм, диаметр магнитов систе-
мы возбуждения2,2 мм, число витков обмотки возбуждения— 20,
амплитуда и частота резонансных колебаний маятника вокруг оси
Z
1
и 1000 Гц соответственно, амплитуда момента кориолисовых сил
при измерении угловой скорости 100
◦
/с составляет 1,8
·
10
−
2
сН
·
см.
Газовое демпфирование колебаний маятника вокруг оси
Z
при зазоре
50 мкм позволяет получить указанную амплитуду колебаний 1
◦
при
токе 2 мА в обмотке возбуждения. Для данного тока при распределе-
нии индукции, приведенном на рис. 10, амплитуда компенсационного
момента будет равна
∼
70
·
10
−
5
сН
·
см, что соответствует нулевому
сигналу гироскопа, равному
∼
4
◦
/с.
Расчеты и экспериментальные данные показывают, что длягиро-
скопа с рассматриваемыми параметрами искажение формы попереч-
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 4 129
