| 
Все статьи автора "Шахнов В.А."
Усиление слабых сигналов в сканирующей зондовой микроскопии
| Авторы: Гуркин Н.В., Шахнов В.А. | Опубликовано: 15.03.2014 |
| Опубликовано в выпуске: #2(71)/2008 | |
| DOI: | |
| Раздел: Радиоэлектроника | |
| Ключевые слова: | |
Практическая реализация оптимизации теплового режима трехмерных электронных модулей посредством генетического алгоритма
| Авторы: Новиков И.С., Шахнов В.А. | Опубликовано: 02.03.2014 |
| Опубликовано в выпуске: #2(75)/2009 | |
| DOI: | |
| Раздел: Конструирование и технология | |
| Ключевые слова: генетические алгоритмы, трехмерные модули, трехмерная компоновка, тепловая оптимизация | |
Теоретические аспекты оптимизации теплового режима трехмерных электронных модулей посредством генетического алгоритма
| Авторы: Новиков И.С., Шахнов В.А. | Опубликовано: 02.03.2014 |
| Опубликовано в выпуске: #1(74)/2009 | |
| DOI: | |
| Раздел: Конструирование и технология | |
| Ключевые слова: | |
Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронных СБИС
| Авторы: Амирханов А.В., Гладких А.А., Макарчук В.В., Пшенников А.Г., Шахнов В.А. | Опубликовано: 09.09.2013 |
| Опубликовано в выпуске: #2(87)/2012 | |
| DOI: | |
| Раздел: Конструирование и технология | |
| Ключевые слова: химико-механическая планаризация, кристалл, межслойная изоляция, многоуровневая металлизация, длина планаризации, выход годных, СБИС, топология, свертка, полином | |
Экспериментальное исследование силовых характеристик рабочего элемента тепловых микроактюаторов
| Авторы: Козлов Д.В., Смирнов И.П., Жуков А.А., Шахнов В.А. | Опубликовано: 30.08.2013 |
| Опубликовано в выпуске: #2(83)/2011 | |
| DOI: | |
| Раздел: Конструирование и технология | |
| Ключевые слова: тепловой микроактюатор, нагрузка, сила, кремний, полиимид, деформация | |
Алгоритмы трансформации топологии субмикронных сверхбольших интегральных схем
| Авторы: Шахнов В.А., Зинченко Л.А., Резчикова Е.В., Аверьянихин А.Е. | Опубликовано: 30.08.2013 |
| Опубликовано в выпуске: #1(82)/2011 | |
| DOI: | |
| Раздел: Конструирование и технология | |
| Ключевые слова: топология, СБИС, двойной фотошаблон | |
Параметры резистивных структур на поликристаллическом кремнии
| Авторы: Глушко А.А., Шахнов В.А. | Опубликовано: 30.08.2013 |
| Опубликовано в выпуске: #1(82)/2011 | |
| DOI: | |
| Раздел: Конструирование и технология | |
| Ключевые слова: моделирование, подвижность, поликристаллы кремния, температурная зависимость, резистор | |