Экспериментальное исследование силовых характеристик рабочего элемента тепловых микроактюаторов

Рассмотрена методика измерения силовых характеристик балок тепловых микроактюаторов, подвергаемых воздействию контролируемой нагрузки. Методика реализована с использованием высокоточных прецизионных весов и гониометра. Проведены серии испытаний и экспериментально получены максимальные значения нагрузок, возникающих на хвостовике балки теплового микроактюатора. Исследованы зависимости силовых характеристик от толщины напыленного слоя металла и толщины полиимида в канавке микроактюатора, а также деградация силовых характеристик при многоцикловом изгибе тепловых микроактюаторов с контролируемым содержанием нанотрубок и без них.