|

Параметры резистивных структур на поликристаллическом кремнии

Авторы: Глушко А.А., Шахнов В.А. Опубликовано: 30.08.2013
Опубликовано в выпуске: #1(82)/2011  
DOI:

 
Раздел: Конструирование и технология  
Ключевые слова: моделирование, подвижность, поликристаллы кремния, температурная зависимость, резистор

Алгоритмы трансформации топологии субмикронных сверхбольших интегральных схем

Авторы: Шахнов В.А., Зинченко Л.А., Резчикова Е.В., Аверьянихин А.Е. Опубликовано: 30.08.2013
Опубликовано в выпуске: #1(82)/2011  
DOI:

 
Раздел: Конструирование и технология  
Ключевые слова: топология, СБИС, двойной фотошаблон

Экспериментальная оценка динамических характеристик тензопреобразователей давления

Авторы: Бушуев О.Ю., Семенов А.С., Шестаков А.Л. Опубликовано: 30.08.2013
Опубликовано в выпуске: #1(82)/2011  
DOI:

 
Раздел: Конструирование и технология  
Ключевые слова: частотная характеристика, тензопреобразователъ давления, метод оценки собственных частот, ультразвуковое воздействие

Экспериментальное исследование силовых характеристик рабочего элемента тепловых микроактюаторов

Авторы: Козлов Д.В., Смирнов И.П., Жуков А.А., Шахнов В.А. Опубликовано: 30.08.2013
Опубликовано в выпуске: #2(83)/2011  
DOI:

 
Раздел: Конструирование и технология  
Ключевые слова: тепловой микроактюатор, нагрузка, сила, кремний, полиимид, деформация

Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронных СБИС

Авторы: Амирханов А.В., Гладких А.А., Макарчук В.В., Пшенников А.Г., Шахнов В.А. Опубликовано: 09.09.2013
Опубликовано в выпуске: #2(87)/2012  
DOI:

 
Раздел: Конструирование и технология  
Ключевые слова: химико-механическая планаризация, кристалл, межслойная изоляция, многоуровневая металлизация, длина планаризации, выход годных, СБИС, топология, свертка, полином

Озонометр на основе полупроводниковых металлооксидных сенсоров и его градуировка

Авторы: Алиев А.А., Низамов Т.И., Исаев Э.И. Опубликовано: 19.12.2013
Опубликовано в выпуске: #4(93)/2013  
DOI:

 
Раздел: Конструирование и технология  
Ключевые слова: металлооксидные газовые сенсоры, озон, влажность, температура, измеритель концентрации, озонометр

Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния и отражения света одноосным двумерным кристаллом

Авторы: Али М., Кирьянов А.П. Опубликовано: 19.12.2013
Опубликовано в выпуске: #4(93)/2013  
DOI:

 
Раздел: Конструирование и технология  
Ключевые слова: холоэллиптометр, рассеяние света, двумерные кристаллы, мониторинг

Управляемый микроудар с фазой хрупкого разрушения: исследование с использованием контактной модели Герца

Авторы: Магомедов М.Х., Яковлев А.В. Опубликовано: 13.02.2014
Опубликовано в выпуске: #1(94)/2014  
DOI:

 
Раздел: Конструирование и технология  
Ключевые слова: управляемый микроудар, ударная контактная сила, начальная кинетическая энергия, критическое напряжение сжатия, фаза хрупкого разрушения, потерянная скорость и потенциальная энергия локального разрушения, формирование полутоновой лунки, технология ударного гравирования

Теоретические аспекты оптимизации теплового режима трехмерных электронных модулей посредством генетического алгоритма

Авторы: Новиков И.С., Шахнов В.А. Опубликовано: 02.03.2014
Опубликовано в выпуске: #1(74)/2009  
DOI:

 
Раздел: Конструирование и технология  
Ключевые слова:

Практическая реализация оптимизации теплового режима трехмерных электронных модулей посредством генетического алгоритма

Авторы: Новиков И.С., Шахнов В.А. Опубликовано: 02.03.2014
Опубликовано в выпуске: #2(75)/2009  
DOI:

 
Раздел: Конструирование и технология  
Ключевые слова: генетические алгоритмы, трехмерные модули, трехмерная компоновка, тепловая оптимизация
1234 >>