Озонометр на основе полупроводниковых металлооксидных сенсоров и его градуировка

Рассмотрены метод и устройство измерения концентрации озона в озоновоздушной смеси на основе изменения сопротивления чувствительного элемента металлооксидных сенсоров MQ131 с учетом влажности и температуры среды. Предложена общая регрессионная зависимость, учитывающая совместное влияние температуры и влажности, а также концентрации озона на сопротивление чувствительного полупроводникового слоя сенсоров. Разработан экспериментальный измеритель концентрации (озонометр) с блоком компенсации, учитывающим совместное влияние температуры и влажности озоно-воздушной среды. Приведены результаты испытаний разработанного озонометра и сопоставление данных с йодометрическими и стандартными приборными измерениями с помощью поверочного озонометра на основе спектрофотометрического метода. Проведена йодометрическая и приборная градуировки озонометра, предложена регрессионная зависимость, описывающая связь напряжения на выходе сенсора с концентрацией озона.

Литература

[1] Microtops II Ozonometer (Solar Light Co), UV-106M (2B Technologies).

[2] Бубнова И.А., Жерников К.В., Шумский Р.А. Полупроводниковые сенсоры и озонометр на их основе // Тез. докл. IX Всерос. конф. молодых ученых. Состав атмосферы и электрические процессы. Борок, 17-19 мая 2005 г.

[3] Жерников К.В., Шумский Р.А., Бубнова И.А. Изучение характеристик полупроводникового озонометра при работе в полевых условиях // Тез. докл. IX Всерос. конф. молодых ученых. Состав атмосферы и электрические процессы. Борок, 17-19 мая 2005 г.

[4] Уфимцев В.Б., Яковенко А.Г., Бутурлин А.И., Дикевич А.Я. Интегральный металлооксидный сенсор для измерения концентрации озона в атмосфере. ИХПМ, МИЭТ.

[5] Анисимов О.В. Электрические и газочувствительные характеристики полупроводниковых сенсоров на основе тонких пленок SnO2: автореф. дисс. ... канд. физ.-мат. наук, Томск, 2007.

[6] Йодометрический метод измерения концентрации озона / Инструкция Р5 Р-Л1-83, Ангарский филиал ОКБА. г. Ангарск, Иркутская обл.

[7] Обвинцева Л.А. Возможности полупроводникового озонометра для мониторинга озона в атмосфере // Оптика атмосферы и океана. 2005. № 11. C. 1007-1010.