| 
Параметры резистивных структур на поликристаллическом кремнии
| Авторы: Глушко А.А., Шахнов В.А. | Опубликовано: 30.08.2013 |
| Опубликовано в выпуске: #1(82)/2011 | |
| DOI: | |
| Раздел: Конструирование и технология | |
| Ключевые слова: моделирование, подвижность, поликристаллы кремния, температурная зависимость, резистор | |
Рассмотрен механизм проводимости в поликристаллическом кремнии. Определены параметры модели подвижности через границу кристаллитов. Проведено моделирование резистора на основе по-ликристаллического кремния в области отрицательных температур и определены границы изменения сопротивления в заданном температурном диапазоне.
