Параметры резистивных структур на поликристаллическом кремнии
Авторы: Глушко А.А., Шахнов В.А. | Опубликовано: 30.08.2013 |
Опубликовано в выпуске: #1(82)/2011 | |
DOI: | |
Раздел: Конструирование и технология | |
Ключевые слова: моделирование, подвижность, поликристаллы кремния, температурная зависимость, резистор |
Алгоритмы трансформации топологии субмикронных сверхбольших интегральных схем
Авторы: Шахнов В.А., Зинченко Л.А., Резчикова Е.В., Аверьянихин А.Е. | Опубликовано: 30.08.2013 |
Опубликовано в выпуске: #1(82)/2011 | |
DOI: | |
Раздел: Конструирование и технология | |
Ключевые слова: топология, СБИС, двойной фотошаблон |
Экспериментальная оценка динамических характеристик тензопреобразователей давления
Авторы: Бушуев О.Ю., Семенов А.С., Шестаков А.Л. | Опубликовано: 30.08.2013 |
Опубликовано в выпуске: #1(82)/2011 | |
DOI: | |
Раздел: Конструирование и технология | |
Ключевые слова: частотная характеристика, тензопреобразователъ давления, метод оценки собственных частот, ультразвуковое воздействие |
Экспериментальное исследование силовых характеристик рабочего элемента тепловых микроактюаторов
Авторы: Козлов Д.В., Смирнов И.П., Жуков А.А., Шахнов В.А. | Опубликовано: 30.08.2013 |
Опубликовано в выпуске: #2(83)/2011 | |
DOI: | |
Раздел: Конструирование и технология | |
Ключевые слова: тепловой микроактюатор, нагрузка, сила, кремний, полиимид, деформация |
Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронных СБИС
Авторы: Амирханов А.В., Гладких А.А., Макарчук В.В., Пшенников А.Г., Шахнов В.А. | Опубликовано: 09.09.2013 |
Опубликовано в выпуске: #2(87)/2012 | |
DOI: | |
Раздел: Конструирование и технология | |
Ключевые слова: химико-механическая планаризация, кристалл, межслойная изоляция, многоуровневая металлизация, длина планаризации, выход годных, СБИС, топология, свертка, полином |
Озонометр на основе полупроводниковых металлооксидных сенсоров и его градуировка
Авторы: Алиев А.А., Низамов Т.И., Исаев Э.И. | Опубликовано: 19.12.2013 |
Опубликовано в выпуске: #4(93)/2013 | |
DOI: | |
Раздел: Конструирование и технология | |
Ключевые слова: металлооксидные газовые сенсоры, озон, влажность, температура, измеритель концентрации, озонометр |
Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния и отражения света одноосным двумерным кристаллом
Авторы: Али М., Кирьянов А.П. | Опубликовано: 19.12.2013 |
Опубликовано в выпуске: #4(93)/2013 | |
DOI: | |
Раздел: Конструирование и технология | |
Ключевые слова: холоэллиптометр, рассеяние света, двумерные кристаллы, мониторинг |
Управляемый микроудар с фазой хрупкого разрушения: исследование с использованием контактной модели Герца
Авторы: Магомедов М.Х., Яковлев А.В. | Опубликовано: 13.02.2014 |
Опубликовано в выпуске: #1(94)/2014 | |
DOI: | |
Раздел: Конструирование и технология | |
Ключевые слова: управляемый микроудар, ударная контактная сила, начальная кинетическая энергия, критическое напряжение сжатия, фаза хрупкого разрушения, потерянная скорость и потенциальная энергия локального разрушения, формирование полутоновой лунки, технология ударного гравирования |
Теоретические аспекты оптимизации теплового режима трехмерных электронных модулей посредством генетического алгоритма
Авторы: Новиков И.С., Шахнов В.А. | Опубликовано: 02.03.2014 |
Опубликовано в выпуске: #1(74)/2009 | |
DOI: | |
Раздел: Конструирование и технология | |
Ключевые слова: |
Практическая реализация оптимизации теплового режима трехмерных электронных модулей посредством генетического алгоритма
Авторы: Новиков И.С., Шахнов В.А. | Опубликовано: 02.03.2014 |
Опубликовано в выпуске: #2(75)/2009 | |
DOI: | |
Раздел: Конструирование и технология | |
Ключевые слова: генетические алгоритмы, трехмерные модули, трехмерная компоновка, тепловая оптимизация |