Получение пленок серебра методом электронно-лучевого испарения для применения в наноплазмонике

9 / 11

А.С. Бабурин, А.Р. Габидуллин, А.В. Зверев
12 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение. 2016. № 6
10. Chou B.-T., Lin Sh.-D., Huang B.-H., LuSingle T.-C. Crystalline silver film grown on Si
(100) substrate by using electron-gun evaporation and thermal treatment // Journal of Vacu-
um Science & Technology. B. 2014. Vol. 32. No. 3. P. 031209-1−031209-5.
DOI: 10.1116/1.4874618
11. Вайнштейн Б.К. Современная кристаллография. Т. 3. М.: Наука, 1980. 408 с.
12. Лютович А.С. Ионно-активированная кристаллизация пленок. Ташкент: Фан,
1982. 148 с.
13. Пинскер З.Г. Монокристаллические пленки. М.: Мир, 1966. 390 с.
14. Введение в физику поверхности / К. Оура, В.Г. Лифшиц, А.А. Саранин, А.В. Зотов,
М. Катаяма. М.: Наука, 2006. 490 с.
Бабурин Александр Сергеевич — младший научный сотрудник ВНИИавтоматики
им. Н.Л. Духова (Российская Федерация, 127055, Москва, Сущёвская ул., д. 22).
Габидуллин Айдар Радикович — лаборант ВНИИавтоматики им. Н.Л. Духова (Россий-
ская Федерация, 127055, Москва, Сущёвская ул., д. 22).
Зверев Александр Вячеславович — научный сотрудник ВНИИавтоматики им. Н.Л. Духова
(Российская Федерация, 127055, Москва, Сущёвская ул., д. 22).
Родионов Илья Анатольевич — канд. техн. наук, директор НОЦ «Функциональные
микро/наносистемы» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация, 105005, Москва,
2-я Бауманская ул., д. 5).
Рыжиков Илья Анатольевич — канд. техн. наук, доцент, начальник лаборатории
Института теоретической и прикладной электродинамики РАН (Российская Федерация,
125412, Москва, Ижорская ул., д.13).
Панфилов Юрий Васильевич — д-р техн. наук, профессор, зав. кафедрой «Электрон-
ные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация,
105005, Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5).
Просьба ссылаться на эту статью следующим образом:
Бабурин А.С., Габидуллин А.Р., Зверев А.В., Родионов И.А., Рыжиков И.А., Панфи-
лов Ю.В. Получение пленок серебра методом электронно-лучевого испарения для при-
менения в наноплазмонике // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение.
2016. № 6. C. 4–14. DOI: 10.18698/0236-3933-2016-6-4-14
SILVER FILMS DEPOSITED BY ELECTRON-BEAM EVAPORATION FOR
APPLICATION IN NANOPLASMONICS
A.S. Baburin1
A.R. Gabidullin1
A.V. Zverev1
I.A. Rodionov2
I.A. Ryzhikov3
Yu.V. Panfilov2
1 All-Russia Research Institute of Automatics (VNIIA), Moscow, Russian Federation
2 Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russian Federation
3 Institute of Theoretical and Applied Electrodynamics, Russian Academy of Sciences,
Moscow, Russian Federation