ОПТИКА
УДК 535-15; 535.4; 681.7.02-04; 681.787
Д. Г. Д е н и с о в, В. Е. К а р а с и к
АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ СПЕКЛ-СТРУКТУРЫ
НА КАЧЕСТВО ИЗОБРАЖЕНИЯ
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ КАРТИНЫ
ПРИ КОНТРОЛЕ КРУПНОГАБАРИТНЫХ
ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ НА СТАДИЯХ
ШЛИФОВАНИЯ
Исследованы статистические характеристики поля, рассеянного
контролируемой шероховатой оптической поверхностью, и опреде-
лены выражения для контраста спекл-структуры в зависимости
от степени монохроматичности излучения лазера ИК интерферо-
метра.
Предложен способ частичного подавления спекл-структуры в
регистрируемых изображениях, основанный на использовании про-
странственной фильтрации и операции усреднения по ансамблю
сечений, проходящих через энергетический центр тяжести от-
фильтрованных изображений.
Приведены результаты экспериментальных исследований ма-
кетного образца лазерного ИК интерферометра, построенного по
модифицированной функциональной схеме Тваймана–Грина, с рабо-
чей длиной волны излучения
λ
= 10
,
6
мкм и сформулированы реко-
мендации по выбору его элементной базы.
E-mail:
Ключевые слова
:
крупногабаритная и шероховатая оптические поверх-
ности, модель фазового экрана, спекл-структура, контраст интерфе-
ренционных колец, когерентность лазерного излучения, цифровая филь-
трация изображения.
Изготовление оптической поверхности крупногабаритного зеркала
связано с серьезными технологическими трудностями, так как при
размерах рабочей поверхности несколько десятков квадратных метров
допустима погрешность формы зеркала, не превышающая нескольких
сотых длины волны света.
Решение этой задачи достигается в процессе оперативного кон-
троля изготовляемой поверхности на всех стадиях обработки, причем
финишный контроль осуществляется на стадиях полирования высоко-
точными интерференционными методами.
В последнее время были предприняты попытки использования ла-
зерных интерференционных методов контроля формы поверхности
зеркал на стадиях шлифования, так как в этом случае достигается
существенное снижение трудозатрат.
36 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2011. № 2
