Рис. 7. Внешний вид неравноплечего интерферометра Тваймана–Грина гори-
зонтального контроля крупногабаритных поверхностей оптических деталей
(ЛИШП-2):
1, 3
— узлы поворотных зеркал;
2
— телескопическая система;
4
— юстировочный
He–Ne-лазер;
5
— CO
2
-лазер;
6
— микроболометрическая матрица;
7
— объектив
сопряжения;
8
— модуль крепления микроболометрической матрицы;
9
— блок пи-
тания CO
2
-лазера;
10
— подъемный механизм основания крепления приемопереда-
ющих узлов;
11
— эталонное зеркало;
12
— модуль светоделительного кубика;
13
—
фокусирующий объектив;
14
— электронно-вычислительная машина
Вид зарегистрированных интерферограмм представлен в левой ча-
сти таблицы. На интерферограммах отчетливо виден спекл-шум, обу-
словленный случайным характером распределения микронеровностей
оптической поверхности.
В правой части таблицы показан вид тех же интерферограмм после
цифровой обработки.
Отметим, что в интерференционных изображениях спекл-структура
практически отсутствует.
Результаты экспериментальных исследований, проведенных с по-
мощью разработанного и изготовленного макетного образца лазерного
ИК интерферометра, подтвердили возможность и перспективность ме-
тодов интерференционного контроля оптических поверхностей круп-
ногабаритных зеркал на стадиях шлифования.
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2011. № 2 45
