Рис. 6. Функциональная схема неравноплечего ИК интерферометра с горизон-
тальной измерительной ветвью:
I, II, III и IV — осветительная, эталонная, из-
мерительная и регистрирующая ветви;
1
— CO
2
-лазер;
2
— He–Ne-лазер реперного
канала;
3, 4
— наклонные зеркала;
5
— телескопическая система;
6
— зеркальная
система ввода излучения;
7
— фокусирующий объектив;
8
— эталонное сферическое
зеркало;
9
— светоделительный кубик;
10
— компенсатор волнового фронта;
11
—
контролируемая деталь;
12
— объектив сопряжения;
13
— болометрическая камера;
14
— изображение диафрагмы контролируемого зеркала
11
(полевая диафрагма)
Традиционная оптическая схема неравноплечего интерферометра
Тваймана–Грина была модифицирована введением реперного лазера и
спектрального светоделителя (рис. 6). Внешний вид интерферометра
представлен на рис. 7.
Предложенная оптическая схема позволяет контролировать как
форму, так и качество (СКО высот микронеровностей [1, 2]) сфе-
рических зеркал с радиусом кривизны до 20 м и с относительным
отверстием до 1:2,5 при использовании только одного эталонного зер-
кала небольшого диаметра, а также проводить контроль асферических
поверхностей при введении компенсатора в рабочую ветвь.
При помощи созданного макетного образца в цеховых условиях
были выполнены измерения формы оптических поверхностей круп-
ногабаритных зеркал (диаметром до 2,4 м), обработанных на стадиях
грубого, среднегрубого, среднего и тонкого шлифования [1].
44 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2011. № 2
