6. K o y s a l O., S a n S. E., O z d e r S. Simultaneous determination of refractive
index and thickness of multilayer dielectric films by discrete Fourier transform //
Optics Communications. – 2004. – Vol. 230. – P. 273.
7. D o b r o w o l s k i J. A., H o F. C., W a l d o r f A. Determination of optical
constants of thin film coating materials based on inverse synthesis // Applied Optics.
– 1983. – Vol. 22. No. 20. – P. 3191.
8. T i k h o n r a v o v A. V., T r u b e t s k o v M. K., K o k a r e v M. A.,
A m o t c h k i n a T. V., D u p a r r e A.,
Q u e s n e l E., R i s t a u D.,
G u e n s t e r S. Effect of systematic errors in spectral photometric data on the
accuracy of determination of optical parameters of dielectric thin films // Applied
Optics. – 2001. – Vol. 41. No. 13. – P. 2555.
9. B o e b e l F. G., H e r t e l B., M o e l l e r H., P r e i s s W. Real time, in situ
measurement of film thickness with reflexion supported pyrometric interferometry
(RSPI) // IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference. 1994. –
P. 311.
10. F a r r e l l T., A r m s t r o n g J. V., K i g h t l e y P. Dynamic optical reflectivity
to monitor the real-time metalorganic molecular beam epitaxial growth of AlGaAs
layers // Appl. Phys. Lett. – 1991. – Vol. 59. No. 10. – P. 1203.
11. Г у р е в и ч И. Я., Ш и ф р и н К. С. Отражение видимого и ИК-излучения
света нефтяными пленками на море: Оптические методы изучения океанов и
внутренних водоемов. Новосибирск: Наука, 1979. – 166 с.
12. В о с к о б о й н и к о в Ю.
Э.,
П р е о б р а ж е н с к и й Н.
Г.,
С е д е л ь н и к о в А. Н. Математическая обработка эксперимента в мо-
лекулярной газодинамике. – Новосибирск: Наука, 1984. – 238 с.
13. Т и х о н о в А. Н., А р с е н и н В. Я. Методы решения некорректных задач. –
М.: Наука, 1979. – 288 с.
14. S c h o e n e b u r g E., H e i n m a n n F., F e d d e r s e n S. Genetische
Algorithmen und Evolutionsstrategien: Eine Einfuerung in Theorie und Praxis der
simulierten Evolution. Bonn; Paris; Reading; Mass. [u.a.]: Addison-Wesley, 1994. –
321 р.
15. Б а т и щ е в Д. И. Генетические алгоритмы решения экстремальных задач. –
Воронеж: Изд-во НГТУ, 1995. – 69 с.
Статья поступила в редакцию 3.11.2010
Михаил Леонидович Белов родился в 1950 г., окончил в 1973 г. Московский энерге-
тический институт. Д-р. техн. наук, главн. науч. сотрудник НИИ радиоэлектроники и
лазерной техники МГТУ им. Н.Э. Баумана. Автор более 200 научных работ в области
лазерной локации и атмосферной оптики.
M.L. Belov (b. 1950) graduated from the Moscow Energy Institute in 1973. D. Sc. (Eng.),
chief researcher of “Radio-Electronics and Laser Technology” Research Institute of the
Bauman Moscow State Technical University. Author of more than 200 publications in the
field of laser location and optics of atmosphere.
Алексей Михайлович Белов родился в 1974 г., окончил в 1997 г. Московский энер-
гетический институт. Инженер НИИ радиоэлектроники и лазерной техники МГТУ
им. Н.Э. Баумана.
A.M. Belov (b. 1974) graduated from the Moscow Energy Institute in 1997. Engineer
of “Radio-Electronics and Laser Technology” Research Institute of the Bauman Moscow
State Technical University.
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2011. № 2 23
