Рис. 3. Относительные погрешности (в процентах) определения толщины
пленки
Δ
d
0
(
а
), показателя преломления пленки
Δ
n
1
(
б
), скорости роста
пленки
Δ
d
1
(
в
) и показателя поглощения пленки
Δ
k
1
(
г
)
Для задачи поиска экстремумов функций многих переменных ГА
по сути представляют собой методы параллельного поиска глобаль-
ного экстремума функций, основанные на использовании на каждом
шаге своей работы сразу нескольких закодированных определенным
образом точек (кандидатов на решения), которые образуют популяцию,
развивающуюся по случайным законам в течение многих поколений.
Для проверки работоспособности и оценки эффективности раз-
работанного метода измерения толщины и показателя преломления
пленки было проведено математическое моделирование. Моделирова-
ние проводилось для модели (4) роста пленки, длины волны излучения
λ
= 0
,
532
мкм и подложки со следующими оптическими характери-
стиками:
n
2
= 1
,
52
,
k
2
= 0
. Число измерений
n
= 8
, интервал между
измерениями — 1 с.
Область поиска составляла: от 0 до 0,5 мкм — по начальной тол-
щине пленки
d
0
; от 0 до 0,05 мкм/с — по скорости роста пленки
d
1
;
от 1,5 до 5 — по показателю преломления пленки
n
1
, от 0 до 5 — по
показателю поглощения пленки
k
1
.
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2011. № 2 21
