датчика одинаковы; тогда
k
(
i
)
д1
=
k
д1
,
k
(
i
)
д2
=
k
д2
и
⎧⎪⎪⎪⎪⎨
⎪⎪⎪⎪⎩
u
д1
=
k
д1
¯
y
−
k
д2
¯
α
;
u
д3
=
k
д1
¯
x
+
k
д2
¯
β
;
u
д5
=
k
д1
¯
y
+
k
д2
¯
α
;
u
д7
=
k
д1
¯
x
−
k
д2
¯
β
;
u
д9
=
−
k
д3
¯
z.
(13)
На практике часто из-за конструктивной особенности подвижной
части приборов с цилиндрическим электростатическим подвесом не
удается обеспечить идентичность размеров левого и правого подвесов,
что приводит к отклонениям зазоров в подвесах от их номинального
значения. Для оценки этого явления введем коэффициенты
c
1
и
c
2
неидентичности левого и правого подвесов соответственно. Если но-
минальный зазор при центральном положении ротора равен
h
, то с
введенными коэффициентами зазоры левого и правого подвесов пред-
ставим в виде
h
л
=
h/c
1
;
h
п
=
h/c
2
.
(14)
Если учесть неидентичность подвесов в виде равенств (14), считая
C
п1
,
C
п2
малыми по сравнению с
C
(0)
11
, то справедлива следующая
система соотношений:
⎧⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎨
⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎩
u
д1
=
c
1
(
k
д1
¯
y
−
k
д2
¯
α
) ;
u
д3
=
c
1
k
д1
¯
x
+
k
д2
¯
β
;
u
д5
=
c
2
(
k
д1
¯
y
+
k
д2
¯
α
) ;
u
д7
=
c
2
k
д1
¯
x
−
k
д2
¯
β
;
u
д9
=
−
k
д3
¯
z,
(15)
где
k
д1
= 2
ϕ
0
э
e
−
1
C
¯
y
11
C
(0)
11
;
k
д2
= 2
ϕ
0
э
e
−
1
C
¯
α
11
C
(0)
11
;
k
д3
= 2
ϕ
0
э
e
−
1
C
¯
z
99
C
(0)
99
.
Рассмотрим работу совмещенного датчика перемещений в подве-
се с электродами в виде правильных сферических треугольников (см.
рис. 1,
в
). Подвес этого типа состоит из четырех идентичных кана-
лов стабилизации, поэтому достаточно рассмотреть работу датчика
в одном из каналов. Для примера, рассмотрим канал, работающий с
диаметрально расположенными электродами э1 и э6. Воспользуемся
полученными в работе [4] выражениями для коэффициентов электро-
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2007. № 2 79
