элементарных пространственных областей. Выражение (6) перепишем
в виде
(
Р
i
+
Р
к
)
∗
(
Р
i
+
Р
к
)
∗
−
(
Р
i
∗
Р
∗
i
+
Р
к
∗
Р
∗
к
) =
Р
i
∗
Р
∗
к
+
Р
к
∗
Р
∗
i
.
(7)
Представим члены вида
Р
i
∗
Р
∗
к
+
Р
к
∗
Р
∗
i
в выражении (5) в виде
левой части выражения (7):
H
(
ν
х
,
0) =
=
N
=1
N
i
=1
Р
i
∗
Р
∗
i
−
(
N
−
1)
N
i
=1
Р
i
∗
Р
i
+
N
−
1
i
=1
N
к
=
i
+1
(
Р
i
+
Р
к
)
∗
(
Р
i
+
Р
к
)
∗
=
=
N
=1
N
−
1
i
=1
N
к
=
i
+1
(
Р
i
+
Р
к
)
∗
(
Р
i
+
Р
к
)
∗
−
(
N
−
2)
N
i
=1
Р
i
∗
Р
∗
i
=
=
N
=1
N
−
1
i
=1
N
к
=
i
+1
H
i
к
(
ν
х
,
0)
−
(
N
−
2)
N
i
=1
H
ii
(
ν
х
,
0)
.
(8)
где
H
i
к
(
ν
х
,
0) = (
Р
i
+
Р
к
)
∗
(
Р
i
+
Р
к
)
∗
— одномерная ОПФ системы, ко-
гда ее входной зрачок представляет собой совокупность двух элемен-
тарных зон, являющимися элементами одной строки;
H
ii
(
ν
х
,
0)=
Р
i
∗
Р
∗
i
— одномерная ОПФ системы, когда ее входной зрачок представляет со-
бой одну элементарную область зрачка контролируемой ОС.
Нормированная ОПФ системы определяется выражением
H(
ν
x
) =
N
=1
N
−
1
i
=1
N
k
=
i
+1
H
ik
(
ν
x
,
0)
−
(
N
−
2)
N
i
=1
H
ii
(
ν
x
,
0)
N
i
=1
[
H
ii
(0
,
0)]
.
(9)
Выражение (9) описывает ОПФ аберрационной ОС в виде сово-
купности зонных ОПФ, являющихся функциями автокорреляции эле-
ментарных частей входного зрачка ОС.
Основанный на выражении (8) способ измерения ОПФ крупно-
габаритных ОС без использования уникальных крупногабаритных
коллимирующих устройств заключается в следующем: входной зра-
чок аберрационной ОС заполняется последовательно сначала одним,
а затем двумя одинаковыми неперекрывающимися пучками колли-
мированного модулированного излучения, несущими информацию о
тест-объекте. Пучки перемещаются дискретно коллинеарно друг дру-
гу вдоль оси пространственных частот измеряемой ОПФ, а также
совместно друг с другом перпендикулярно этой оси в определен-
ные фиксированные положения с шагом, равным размеру выходного
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2008. № 3 31
