О расчете мембран датчиков давления

8 / 8

[7] Raspopov . Mikromekhanicheskie pribory [Micromechanical Devices]. Moscow,
Mashinostroenie Publ., 2007. 400 p.
[8] Yasukawa A., Shimazoe М., Matsuoka J. Simulation of Circular Silicon Pressure
Sensors with a Center Boss for very Low Pressure measurement. IEЕЕ Transactions
on Electronic Devices, 1989, vol. 36, no. 7, pp. 1295–1302.
[9] Guo S., Guo J., Ко W.H. A monolithically integrated surface micromachined touch
mode capacitive pressure sensor. Sensors and Actuators A, 2000, no. 80, pp. 224–232.
[10] lgamel A. A simple and efficient technique for the simulation of capacitive pressure
transducers. Sensors and Actuators A, 1999, no. 77, pp. 183–186.
[11] Belkin A.E., Gavryushin S.S. Raschet plastin metodom konechnykh elementov
[Calculation of Plates by Finite Element Method]. Moscow, MGTU
im. N.E. Baumana Publ., 2008. 232 p.
[12] Kaplun A.B. ANSYS v rukakh inzhenera [Using ANSYS by Engineers]. Moscow,
Editorial URSS Publ. 272 p.
[13] accessed 05.03.2014).
[14] Gavryushin S.S., Makmillan A., Podkopaeva A.S. Synthesis of discrete
microactuators from specified functional parameters. Izv. Vyssh. Ucheb. Zaved.,
Mashinostr. [Proc. of Higher Educational Institutions. Mechanical Engineering],
2014, no. 1, pp. 55–60 (in Russ.).
Статья поступила в редакцию 29.05.2015
Тиняков Юрий Николаевич — ведущий инженер НОЦ “Наноинженерия” МГТУ
им. Н.Э. Баумана.
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Российская Федерация, 105005, Москва, 2-я Бауманская ул.,
д. 5.
Tinyakov Yu.N. — Leading engineer, Research and Education Center Nanoengineering,
Bauman Moscow State Technical University.
Bauman Moscow State Technical University, 2-ya Baumanskaya ul. 5, Moscow, 105005
Russian Federation.
Николаева Анна Сергеевна — аспирантка кафедры “Динамика и прочность машин”
МГТУ им. Н.Э. Баумана.
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Российская Федерация, 105005, Москва, 2-я Бауманская ул.,
д. 5.
Nikolaeva A.S. — Ph.D. student, Department of Dynamics and Strength of Machines,
Bauman Moscow State Technical University.
Bauman Moscow State Technical University, 2-ya Baumanskaya ul. 5, Moscow, 105005
Russian Federation.
Просьба ссылаться на эту статью следующим образом:
Тиняков Ю.Н., Николаева А.С. О расчете мембран датчиков давления // Вестник
МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение. 2015. № 6. C. 135–142.
Please cite this article in English as:
Tinyakov Yu.N., Nikolaeva A.S. Computation of pressure sensor membrane. Vestn.
Mosk. Gos. Tekh. Univ. im. N.E. Baumana, Priborostr. [Herald of the Bauman Moscow
State Tech. Univ., Instrum. Eng.], 2015, no. 6, pp. 135–142.
142 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 6