Рис. 1. Защита от перегрузки для дат-
чиков
нижней плоскости. Нагрузка — это
давление, при котором пластина с
жестким центром достигает упо-
ра (
p
1
= 1
,
2
МПа), приложен-
ное к верхней плоскости пласти-
ны. Результаты работы программы
для расчета пластин приведены на
рис. 3. Наибольшие вертикальные
перемещения для пластин с жестким центром и без жесткого центра
составляют 10 и 41 мкм.
Обычно в экспериментах с пластинами с жестким центром тензо-
резисторы формируют в заделке (тензорезистор
1
, рис. 4) и на границе
жесткого центра (тензорезистор
2
, см. рис. 4): скачки на эпюре на-
пряжений наблюдаются в местах резкого изменения геометрии. Для
пластин без жесткого центра используют только тензорезисторы, ко-
торые формируют в области заделки.
Зависимости линейных деформаций в тензорезисторе
1
, располо-
женном в области заделки (см. рис. 4), от внешнего давления для пла-
стины с жестким центром и без него приведены на рис. 5. В пластине
с жестким центром эта зависимость в целом является более линейной,
чем в пластине без жесткого центра. Значения нормальных напря-
жений и линейных деформаций по оси тензорезистора при давлении
p
1
= 1
,
2
МПа в тензорезисторе
1
, расположенном в области заделки
приведены в таблице.
Рис. 2. Конечно-элементные модели пластин с жестким центром и без него
Рис. 3. Вертикальные перемещения точек пластины с жестким (
а
) и без жест-
кого (
б
) центра
138 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 6