О расчете мембран датчиков давления

7 / 8

влены рекомендации по выбору конструктивно-технологического ре-
шения для мембран и расположения тензорезисторов для наиболее
эффективной работы микродатчиков.
ЛИТЕРАТУРА
1. Petersen K.E. Silicon as a mechanical material // Proceedings of the IEEE. 1982.
Vol. 70. No. 5. Р. 420–457.
2. Stefanescu D.M. Handbook of Force Tranducers. Berlin: Springer, 2011. 612 р.
3. Феодосьев В.И. Сопротивление материалов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана,
1999. 592 с.
4. Ваганов В.И. Интегральные тензопреобразователи. М.: Энергоатомиздат, 1983.
138 с.
5. Проектирование датчиков для измерения механических величин / под ред.
Е.П. Осадчего. М.: Машиностроение, 1979. 480 с.
6. Ушков А.В. Разработка конструктивно-технологических основ производства
кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью
к перегрузкам. Дисс.. . . канд. техн. наук. М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008.
7. Распопов В.Я. Микромеханические приборы. М.: Машиностроение, 2007. 400 с.
8. Yasukawa A., Shimazoe М., Matsuoka J. Simulation of Circular Silicon Pressure
Sensors with a Center Boss for very Low Pressure measurement // IEЕЕ Transactions
on Electronic Devices. 1989. Vol. 36. No. 7. P. 1295–1302.
9. Guo S. , Guo J., Kо W.H. A monolithically integrated surface micromachined touch
mode capacitive pressure sensor // Sensors and Actuators A. 2000. No. 80. P. 224–
232.
10. Elgamel A. A simple and efficient technique for the simulation of capacitive pressure
transducers // Sensors and Actuators A. 1999. No. 77. P. 183–186.
11. Белкин А.Е., Гаврюшин С.С. Расчет пластин методом конечных элементов. М.:
Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008. 232 с.
12. Каплун А.Б. ANSYS в руках инженера. М.: Эдиториал УРСС. 272 с.
13. (дата обращения 05.03.2014).
14. Гаврюшин С.С., Макмиллан А., Подкопаева А.С. Синтез микроактюатора дис-
кретного действия по заданным функциональным параметрам // Известия выс-
ших учебных заведений. Машиностроение. 2014. № 1. С. 55–60.
REFERENCES
[1] Petersen K.E. Silicon as a mechanical material. Proc. of the IEEE, 1982, vol. 70,
no. 5, pp. 420–457.
[2] Stefanescu D.M. Handbook of Force Tranducers. Berlin, Springer, 2011. 612 р.
[3] Feodos’ev V.I. Soprotivlenie materialov [Strength of Materials]. Moscow, MGTU
im. N.E. Baumana Publ., 1999. 592 p.
[4] Vaganov V.I. Integral’nye tenzopreobrazovateli [Integral Piezoconverters]. Moscow,
Energoatomizdat Publ., 1983. 138 p.
[5] Osadchiy E.P., ed. Proektirovanie datchikov dlya izmereniya mekhanicheskikh
velichin [Design of Sensors for Measuring Mechanical Quantities]. Moscow,
Mashinostroenie Publ., 1979. 480 p.
[6] Ushkov A.V. Razrabotka konstruktivno-tekhnologicheskikh osnov proizvodstva
kremnievykh chuvstvitel’nykh elementov davleniya s povyshennoy stoykost’yu
k peregruzkam. Diss. kand. tekhn. nauk [Development of Constructional and
Technological Bases of Manufacturing Silicon Pressure Sensors with High Resistance
to Overloads. Cand. tech. sci. diss.]. Moscow, MGTU im. N.E. Baumana, 2008.
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 6 141