области от 3,5 до 35 эВ. Диафрагмированное излучение фокусируется
на выходной щели, за которой установлен азотный криостат. Рассто-
яние от излучающего пучка электронов до дифракционной решетки
∼
10
м. Угол между направлениями падающего и отражающего из-
лучения составляет
∼
10
◦
. Сканирование по спектру осуществляется
через электромеханический привод шаговым двигателем, поворачи-
вающим решетку с большой точностью (погрешность
∼
0
,
02
нм/шаг)
вокруг оси, проходящей через центр решетки параллельно плоскости
орбиты.
Для устранения высших порядков дифракции перед выходной ще-
лью вводились полосовые фильтры из кварцевого стекла (SiO
2
)
(ин-
тервал
λ >
180
нм) и фторида магния (MgF
2
)
(115. . . 200 нм); гра-
дуировку прибора по длинам волн осуществляли с помощью урав-
нения решетки. Проверка градуировки и разрешающей способности
проводилась по линиям поглощения различных инертных газов при
λ >
115
нм и напуске газа в криостат, отделенный от вакуума в кана-
ле окном из кристалла MgF
2
. Специализированный азотный криостат,
установленный за выходной щелью монохроматора, позволяет изме-
рять спектры пропускания, отражения и возбуждения люминесценции
в интервале температур 77. . . 300 K.
Регистрация излучения от облучаемой конденсированной мишени
проводилась фотоэлектронным умножителем ФЭУ-100, работающим
в режиме счета фотонов, перед фотокатодом которого были устано-
влены сменные оптические фильтры. Поскольку ширина выходной
щели монохроматора при сканировании по спектру не изменяется, то
интенсивность падающего на исследуемый образецизлучения в ра-
бочей спектральной области изменялась примерно на порядок. Мак-
симум спектра за выходной щелью монохроматора приходился на
область порядка 60 нм, при этом поток фотонов в спектральном ин-
тервале
Δ
λ
∼
1
нм при
λ
∼
100
нм (
hν
∼
12
,
4
эВ) на образецсоставлял
∼
10
10
фотон/с.
О методике исследования спектров отражения конденсирован-
ных сред.
В применяемой схеме измерения спектров отражения CИ,
отражаясь от поверхности мишени, попадает на пластину из салици-
лата натрия (C
7
H
5
NaO
3
)
, закрепленную на стенке вакуумной камеры.
Салицилат натрия выбран в качестве эталонного материала, так как
в спектральном диапазоне 3,5. . . 80 эВ имеет постоянный квантовый
выход люминесценции
η
∼
0
,
6
. Поэтому поток фотонов от люминесцен-
цирующего кристалла салицилата натрия используется не только для
измерения отраженного сигнала, но и для регистрации распределения
спектральной плотности мощности потока излучения, падающего на
мишень после прохождения монохроматора (рис. 4).
46 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2010. № 1
