Рис. 2. Вакуумная схема диагностического модуля:
1
— ФЭУ измерения опорного сигнала;
2
— зеркало фокусировки на дифракционную
решетку
3
;
4
— зеркало фокусировки на мишень
5
;
6
— люминофор;
7
— сменный
фильтр из цветного стекла;
8
— ФЭУ измерения сигнала
Рис. 3. Оптическая схема измерения спектральных коэффициентов отражения
ипропускания:
1
— тороидальное зеркало (Au);
2
— дифракционная решетка (Al; сфера
R
= 1
м;
реплика 600 штр./мм);
3
— ФЭУ регистрации отраженного сигнала;
4
— мишень;
5
—
щель монохроматора;
6
— сменный фильтр из MgF
2
или кристаллического кварца;
7
— поворотное зеркало (Al);
8
— экран (салицилат натрия);
9
— ФЭУ регистрации
опорного сигнала
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2010. № 1 45
