энергия промежуточного накопителя электронов 450МэВ; критиче-
ская длина волны 6,13 нм; ток 100 мА; давление
10
−
7
. . .
10
−
8
Па; ра-
диус электронной орбиты 1 м; время жизни электронного пучка при
токе 100 мА
∼
1
ч.
Для обеспечения оптимальных условий транспортировки коротко-
волнового (УФ–ВУФ) излучения в канале диагностической станции
и уменьшения окисления поверхности дифракционных решеток мо-
нохроматора рабочий объем диагностического модуля станции ваку-
умируется (рис. 1, 2), необходимость непосредственного соединения
с рабочей полостью ускорительно-накопительного кольца “Сибирь-1”
определяет глубину разрежения не хуже 10
−
8
мбар. Для уменьшения
времени вакуумирования диагностического модуля после замены ис-
следуемого образца использован специальный порт загрузки, мини-
мальный необходимый объем которого на время разгерметизации изо-
лируется от всех остальных трактов диагностической станции.
В диагностическом модуле установлен монохроматор нормального
падения, собранный по схеме Водсворта, с вертикальной плоскостью
дисперсии с горизонтальной щелью. Такой выбор щели монохрома-
тора обусловлен: фиксированным положением источника излучения;
размерами источника СИ (3 мм по горизонтали, 0,3 мм по вертикали,
что обеспечивает более высокое разрешение монохроматора); интен-
сивностью излучения в плоскости орбиты (что составляет 7/8 общей
интенсивности излучения), имеющей высокую линейную поляриза-
цию. Излучение накопителя (рис. 3) направляется на вогнутую сфери-
ческую дифракционную решетку с вольфрамовым покрытием (радиус
кривизны 1 м,
V
= 600
штрих/мм, рабочая поверхность
50
×
40
мм,
максимум концентрации энергии в спектре около 60 нм). Монохрома-
тор диагностической станции рассчитан для работы в спектральной
Рис. 1. Оптическая схема диагностического модуля:
1
— дифракционная решетка;
2
— ось вращения решетки;
3
— вакуумный вентиль;
4
— патрубок откачки;
5
— шаговый двигатель;
6
— криостат;
7
— охлаждаемый
держатель образца;
8
— выходная щель:
9
— блок светофильтров для устранения
высших порядков;
10
— сильфон, позволяющий компенсировать дефокусировку;
11
— выходной патрубок канала СИ
44 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2010. № 1
