УДК 665.939.5
ОБЕСПЕЧЕНИЕ ВАКУУМА В ПРИБОРАХ С ВНУТРЕННИМИ
КЛЕЕВЫМИ СОЕДИНЕНИЯМИ
В.А.Матвеев
1
,
М.А. Басараб
1
,
В.А. Крейсберг
2
,
Б.С. Лунин
2
,
Р.А. Захарян
3
1
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, Российская Федерация
e-mail:
2
МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва, Российская Федерация
e-mail:
3
Тарусский филиал института общей физики РАН, г. Таруса,
Калужская обл., Российская Федерация
e-mail:
Одной из основных задач при проектировании электронно-микромеханических
приборов, с учетом их малых массогабаритных характеристик и малых зазо-
ров между механическими частями, является обеспечение высокого вакуума в
корпусе. Остаточный газ вызывает, в частности, дополнительное демпфиро-
вание колебаний резонаторов вибрационных гироскопов и существенно влияет
на их характеристики. Производство электронно-микромеханических прибо-
ров может быть существенно упрощено, если для соединения деталей из раз-
нородных металлических и неметаллических материалов использовать клей,
который надежно соединяет детали и обеспечивает равномерное распреде-
ление механических напряжений на участке склейки. Основным недостатком
клеевых соединений является выделение летучих компонентов в вакууме, при-
водящее к ухудшению характеристик вакуумного прибора. В связи с этим низ-
кое газоотделение является одним из основных технологических требований,
предъявляемым к клею. Исследовано выделение газа из отвержденного эпок-
сидного клея EPO-TEK H74UNF. Дегазирование и обезгаживание в вакууме
при повышенной температуре уменьшает удельную скорость газовыделения
на несколько порядков. Разработана модель газовыделения из этого клея газа с
учетом обезгаживания. Обезгаживание клеевых швов и применение газопогло-
тителей (геттеров) позволяет создавать вакуумные приборы с внутренними
клеевыми соединениями с давлением остаточных газов не выше
10
−
4
Па.
Ключевые слова
:
вакуумные приборы, вакуум, газовыделение, обезгаживание,
клеевое соединение.
VACUUM PROVIDING IN DEVICES WITH INTERNAL
ADHESIVE JOINTS
V.A. Matveev
1
,
M.A. Basarab
1
,
V.A. Kreisberg
2
,
B.S. Lunin
2
,
R.A. Zakharyan
3
1
Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russian Federation
e-mail:
2
Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russian Federation
e-mail:
3
Tarusa Branch of General Physics Institute of RAS,
Tarusa, Kaluga region, Russian Federation.
e-mail:
One of the main objectives during the design of electro-micromechanical devices,
given their small weight and size characteristics and small gaps between mechanical
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2014. № 4 113
