клея как тонкую пластину с односторонней диффузией. В этом случае
диффузионный процесс описывается выражением [10]
∂c
∂x
x
=
l
=
−
2
c
0
l
∞
X
n
=0
exp
−
D
(2
n
+ 1)
2
π
2
t
4
l
2
,
(1)
где
l
— толщина клеевого слоя,
c
0
и
c
— начальная и текущая концен-
трации диффундирующего компонента;
D
— коэффициент диффузии,
который может быть представлен в аррениусовской форме:
D
=
D
0
exp
−
E
RT
.
(2)
Тогда, согласно первому закону Фика, удельная скорость газовы-
деления с размерностью Па
∙
м/с может быть определена по формуле
ν
=
2
c
0
DRT
l
∞
X
n
=0
exp
−
D
(2
n
+ 1)
2
π
2
t
4
l
2
.
(3)
Из (3) следует, что начальная скорость газовыделения пропорци-
ональна коэффициенту диффузии, а уменьшение скорости выделения
газа со временем зависит от произведения
Dt
. Одно и то же остаточ-
ное газовыделение может быть получено выдержкой в вакууме как при
комнатной температуре в течение длительного времени
t
, так и после
вакуумной термообработки при температуре
Т
в течение значительно
меньшего времени
τ
. Эти времена связаны соотношением
t
=
D
T
τ
D
T
к
,
(4)
где
D
T
и
D
Т
к
— значение коэффициента диффузии для температуры
обезгаживания
Т
и
T
к
= 298
K соответственно.
Кинетика остаточного газовыделения при
Т
к
после завершения
процесса обезгаживания, проведенного при температуре
Т
в течение
времени
τ
, определяется выражением
ν
=
2
c
0
RT
к
D
T
к
l
∞
X
n
=0
exp
−
D
T
к
(2
n
+ 1)
2
π
2
D
T
D
T
к
τ
+
t
4
l
2
.
(5)
С учетом (2) выражение (5) принимает вид
ν
=
2
c
0
RT
к
D
0
exp
−
E
RT
к
l
×
118 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2014. № 4
