ваемом примере начальная концентрация углеводородов составляет
78 моль/м
3
.
Знание этих величин позволяет определить созданное газовыде-
лением при температуре
Т
к
парциальное давление
p
i
i
-го летучего
компонента клея с площадью поверхности
S
за время
t
0
в приборе
объемом
V
.
p
i
=
2
Sc
0
i
RT
к
D
0
i
exp
−
E
i
RT
к
V
×
×
t
0
Z
0
∞
X
n
=0
exp
−
D
0
i
exp
−
E
i
RT
к
(2
n
+1)
2
π
2
τ
exp
E
i
RT
к
−
E
i
RT
+
t
4
l
2
dt,
(9)
где
D
i
0
и
E
i
— предэкспонента и энергия активации коэффициента
диффузии для
i
-го летучего компонента,
Т
и
τ
— температура и время
обезгаживания,
с
0
i
— начальная концентрация
i
-го летучего компонен-
та.
В качестве примера на рисунке показан график изменения пар-
циального давления углеводородов в вакуумном приборе объемом
100 см
3
, при его хранении/эксплуатации в течение 10 лет при раз-
личной толщине клеевых швов с площадью поверхности
S
= 1
мм
2
.
Видно, что даже для толстых клеевых швов парциальное давле-
ние углеводородов через 10 лет не превысит
10
−
4
Па. Поскольку все
другие газовые компоненты могут быть поглощены геттером, можно
сделать вывод о возможности создания высоковакуумного прибора с
внутренними клеевыми соединениями. Таким образом, газовая среда
в отпаянном вакуумном приборе с внутренними клеевыми соединени-
ями и встроенным геттером состоит из углеводородов. Дегазирование
Обезгаживание в вакууме при повышенной температуре уменьшает
выделение углеводородов из эпоксидного клея на несколько порядков,
Изменение парциального давления
углеводородов в вакуумном приборе
при его хранении/эксплуатации в те-
чение 10 лет при различной толщи-
не клеевых швов. Толщина клеево-
го шва: кривая
1
— 1 мм, кривая
2
—
0,04 мм
120 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2014. № 4
