рекрестных взаимосвязей. Элементы скомпонованы по слоям. Необ-
ходимо отметить, что файл в формате GDSII является кроссплатфор-
менным.
Для хранения файлов в формате GDSII, описывающих сложно-
функциональные блоки, необходимы значительные объемы памяти.
В связи с этим проводятся исследования вопросов повышения эффек-
тивности их хранения и обработки [5, 6]. Различные методы опти-
мизации хранения и обработки файлов такого большого объема [5]
требуют значительных вычислительных ресурсов, при этом усложня-
ется код программы и ее разработка. Применение технологии двойного
фотошаблона еще более ужесточает требования к эффективности хра-
нения и обработки файлов в формате GDSII, описывающих сложно-
функциональные блоки. Повышенные требования объясняются тем,
что в этом случае необходимо учитывать взаимное влияние близко
расположенных геометрических объектов.
В настоящей статье рассматривается следующая формулировка за-
дачи трансформации топологии субмикронных СБИС для технологии
двойного фотошаблона.
Для заданного множества геометрических объектов
GeO
=
=
{
GeO
1
, GeO
2
, . . . , GeO
n
}
, представляющих собой заданную тополо-
гию СБИС, необходимо найти такое решение, чтобы были выполнены
следующие ограничения:
d
X
(
GeO
i
, GeO
j
)
>
d
dr
(
GeO
i
, GeO
j
)
,
(1)
d
Y
(
GeO
i
, GeO
j
)
>
d
dr
(
GeO
i
, GeO
j
)
,
(2)
d
X
(
GeO
i
, GeO
j
)
>
d
dp
(
GeO
i
, GeO
j
)
,
(3)
d
Y
(
GeO
i
, GeO
j
)
>
d
dp
(
GeO
i
, GeO
j
)
,
(4)
где
d
X
(
GeO
i
, GeO
j
)
и
d
Y
(
GeO
i
, GeO
j
)
— расстояния между гео-
метрическими объектами
GeO
i
и
GeO
j
после трансформации то-
пологии по осям абсцисс и ординат;
d
dr
(
GeO
i
, GeO
j
)
— мини-
мально допустимые расстояния между геометрическими объектами
GeO
i
и
GeO
j
согласно конструкторско-технологическим ограничени-
ям;
d
dp
(
GeO
i
, GeO
j
)
— минимально допустимое расстояние между
геометрическими объектами, лежащими в одном слое, допускаю-
щее воспроизведение этих геометрических объектов в одном слое;
i
= 1
, . . . , n
;
j
= 1
, . . . , n
.
При этом полагается, что множество геометрических объектов
GeO
=
{
GeO
1
, GeO
2
, . . . , GeO
n
}
упорядочено по слоям, затем по
координате
X
и далее по координате
Y
левого нижнего угла каждо-
го геометрического объекта. В целях минимизации вычислительных
затрат топологическая информация представляется в виде набора вза-
имосвязанных простых структур [7]. Такими структурами являются:
80 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2011. № 1
