Заметим, что пространственное сечение (см. рис. 8) зависит от рас-
стояния до узкой полоски изучаемой поверхности (см. рис. 2) и, в
принципе, удобнее говорить об угловой разрешающей способности, не
зависящей от расстояния до полоски. Как видно из рис. 8,
X
-сечение
хорошо описывается функцией Гаусса (1), параметры которой приве-
дены в табл. 3.
Таблица 3
Параметры функции Гаусса (1), описывающей
X
-сечение
(рис. 8)
Значения параметров
A w J
0
x
c
В пикселях
301,73 2,50 3,78 76,1
В единицахдлины (мм)
3341,6 27,7 3,78 842,6
Для наглядной оценки
X
-сечения приведена табл. 4, в которой
указаны ширины
X
-сечения (см. рис. 9) для значений интенсивно-
сти
J
= 10
, 50 и 90% (эти уровни показаны на рисунке сплошными
горизонтальными линиями) в пикселяхи мм.
Таблица 4
Ширина
X
-сечения для различных уровней интенсивности
(рис. 8)
Значение уровня
10 % 50 % 90 %
Ширина в пикселях
0,84
2,53
3,93
Ширина в мм
9,3
28
43,5
Для оценки пространственного разрешения прибора по критерию
Рэлея, аналогично случаю спектрального разрешения, необходимо бы-
ло разместить два отверстия достаточно близко друг к другу. Сделать
это оказалось затруднительно. Поэтому было решено заменить этот
эксперимент математическим моделированием с помощью функций
Гаусса, описывающих
X
-сечения и расположенныхна разныхрассто-
яниях
x
с
друг от друга.
Расстояние между функциями Гаусса подбиралось так, чтобы удо-
влетворить критерию Рэлея (т.е. величина провала примерно равна
20%). Графики функций Гаусса от номера пикселя (нижняя ось аб-
сцисс) и расстояния по оси
Х
, мм, (верхняя ось абсцисс) для найден-
ныхзначений положения максимума функций Гаусса
x
с
представлены
на рис. 8. Там же приведен график суммы двухсмещенныхкривых
Гаусса (кресты). Таким образом, было найдено пространственное раз-
решение, равное 3,1 пикселя или же 34,3 мм. Полученное значение
разрешения по Рэлею также довольно близко к ШПВ, которое равно
28 мм.
22 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2006. № 3
