теры изготавливают, активируют и устанавливают в закрытом виде [2].
Вскрытие геттера выполняется с помощью специального механизма,
когда процесс откачки и обезгаживания завершен, прибор отсоединен
от откачной системы и вакуумно герметичен. Это позволяет избежать
преждевременного уменьшения емкости геттера при обезгаживании и
разлетания случайно отколовшихся частиц геттерного материала.
Заключение.
Остаточный газ приводит к снижению добротности
резонаторов ВГ и может быть причиной дополнительного система-
тического дрейфа, поэтому необходимо поддерживать вакуум внутри
корпуса ВГ путем использования геттеров. Для ВГ наиболее подходя-
щими являются нераспыляемые геттеры, представляющие собой сме-
си циркония, титана, редкоземельных металлов. Нераспыляемые гет-
теры имеют большую удельную сорбционную емкость и могут быть
регенерированы после насыщения путем нагревания. Поскольку гет-
теры хорошо поглощают лишь активные газы (O
2
, CO, CO
2
, N
2
, H
2
O,
H
2
) и плохо — углеводороды, которые являются летучими компонен-
тами многих клеев, то при использовании клея для сборки приборов
необходимо выбирать клеи с малым выделением углеводородов. Це-
лесообразно конструктивно изолировать геттер от вакуумного объема
ВГ до завершения процесса откачки и обезгаживания и вскрыть его
затем специальным механизмом.
ЛИТЕРАТУРА
1.
Матвеев В.А.
,
Лунин Б.С.
,
Басараб М.А.
Навигационные системы на волновых
твердотельных гироскопах. М.: Физматлит. 2008.
2.
Loper E.J.
,
Lynch D.D.
Vibratory rotation sensor // Patent US 4 951 508 (1990).
3.
Egarmin N.E.
,
Yurin V.E.
Introduction to theory of vibratory gyroscopes. M.: Binom.
1993.
4.
Loper E.J.
,
Lynch D.D.
,
Stevenson K.M.
Projected performance of smaller
hemispherical resonator gyros // Position Location and Navigation Symposium
(PLANS’86), Las Vegas, 4–7 November, 1986. P. 86-160.
5.
Джанджгава Г.И.
,
Бахонин К.А.
,
Виноградов Г.М.
,
Требухов А.В.
Бесплатфор-
менная инерциальная навигационная система на базе твердотельного волнового
гироскопа // Гироскопия и навигация. 2008. № 1. С. 22–32.
6.
Кучерков С.Г.
Определение необходимой степени вакуумирования рабочей по-
лости осциллятора микромеханического гироскопа // Гироскопия и навигация.
2002. № 1. С. 52–56.
7.
Verhoeven J.
,
Doveren H.
Interactions of residual gases with a barium getter film as
measured by AES and XPS // J. Vac. Sci. Technol. 1982. Vol. 20, no. 1. P. 64–74.
8.
Verhoeven J.A.Th.
,
Doveren H.
An XPS investigation of the interaction of
CH
4
,
C
2
H
2
,
C
2
H
4
and
C
2
H
6
with a barium surface // Surface Science. 1982.
Vol. 123. P. 369–383.
9.
SAES
Technical Product Reports //
10.
Boffito C.
,
Ferrario B.
,
Porta P.
,
Rosai L.
A nonevaporable low temperature activable
material // Journal of Vacuum Science and Technology. 1981. Vol. 18, no. 3. P. 1117–
1120.
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 2 97
