•
сорбционная емкость — количество газа, который может погло-
тить геттер, отнесенное к единице его площади или массы;
•
температура активации — температура, при которой происходит
активирование геттера;
•
предельное давление — минимальное давление, которое дости-
гается в вакуумируемом объеме при использовании геттера.
Выбранный геттер должен иметь с одной стороны соответству-
ющие кинетические характеристики (т.е. удельный поток газопогло-
щения должен превышать удельную скорость газовыделения со всех
внутренних поверхностей вакуумируемого объема), а с другой — до-
статочную сорбционную емкость. Кроме того, геттер должен иметь
по возможности низкую температуру активации и хорошую механи-
ческую прочность.
Распыляемые геттеры используются с 1930-х гг. для обеспечения
вакуума в радиолампах, кинескопах и других вакуумных приборах.
Обычно в качестве активной поверхности используется тонкая пленка
бария, которая формируется при пиролизе сплава BaAl
4
либо смесей
BaAl
4
–Ni, BaAl
4
–Ni–Fe
4
N и др. Выделяющиеся пары бария конденси-
руются на свободной внутренней поверхности вакуумируемого прибо-
ра, образуя пористую пленку, которая хорошо реагирует со многими
активными газами — O
2
, CO, CO
2
, N
2
, H
2
O, H
2
[7, 8]. Гораздо бо-
лее слабая активность бария наблюдается в отношении ацетилена и
этилена. Метан, этан, инертные газы с барием не реагируют.
В ВГ использование распыляемых геттеров затруднительно ввиду
отсутствия в них подходящей свободной поверхности для бариевой
пленки.
Нераспыляемые геттеры, использующие смеси ванадия, циркония,
титана, редкоземельных металлов (РЗМ) и сплавы на их основе, полу-
чили большее распространение в современном приборостроении. Они
также поглощают активные газы и некоторые углеводороды, образуя в
поверхностной зоне твердые растворы оксидов, нитридов и карбидов
циркония. После насыщения этой зоны геттерный материал теряет ак-
тивность, однако при нагревании его до температуры 500. . . 1000
◦
С
эти твердые растворы диффундируют вглубь геттерного материала,
восстанавливая при этом сорбционные свойства поверхности. Нагре-
вание (активация) необходимо и перед началом использования гет-
тера, так как открытая металлическая поверхность всегда окислена
атмосферным кислородом.
Известны свойства многочисленных геттерных материалов, кото-
рые отличаются друг от друга по сорбционной способности, диапазону
рабочих температур, механической прочности и другим параметрам.
Составы и температуры активации некоторых из них приведены в таб-
лице.
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 2 95
