Составы и температуры активации некоторых нераспыляемых геттерных
материалов
Состав
Торговая марка Температура активации,
◦
C Ссылка
ZrAl
ST101, Циаль
900–1000
[9, 10]
Ti
−
Zr
3
Al
2
ST121
600–900
[9, 10]
Ti
−
Zr(V
0
,
85
Fe
0
,
17
)
2
ST122
350–500
[9, 11]
Zr–С
ST171
700–1000
[9, 12]
Zr
−
Zr(V
0
,
85
Fe
0
,
17
)
2
ST172
200–950
[9, 12]
Ti–Mo
ST175
500–750
[9]
Ti–V
ST185
500
[9]
ZrV
2
ST197
500–800
[9, 10]
Zr
2
Fe
ST198
600–900
[9, 10]
Zr
2
Ni
ST199
600–900
[9, 10]
Zr(V
0
,
85
Fe
0
,
17
)
2
ST707
450–500
[9, 10]
V
−
Zr(V
0
,
85
Fe
0
,
17
)
2
ST2002
350
[9]
Ti
—
700–1200
[13, 14]
Ti–Zr–Al
СПН-3
800
[15]
Ti–Zr–Al–Ta
СПН-4
900–1000
[15]
Th–Al–РЗМ
Ceralloy-400
900–950
[16, 17]
Th–CeLaAl
2
Ceto
900
[18]
На базе этих сплавов промышленно выпускаются различные по
конструкции и характеристикам геттерные насосы (см., например, [9]),
которые с успехом могут быть использованы в ВГ.
Все нераспыляемые геттеры могут быть регенерированы после на-
сыщения. Для этого он повторно нагревается. Число регенераций за-
висит от структуры и состава геттерного материала и в большинстве
случаев не превышает 30. . . 40 циклов.
Выбор геттера для ВГ следует основывать на его сорбционных
характеристиках, конструкции и условиях активации. Прежде всего
следует оценить необходимую адсорбционную емкость геттера. Если
при сборке приборов используются внутренние клеевые соединения,
то необходимо рассчитать число выделившихся летучих компонентов,
ориентируясь на начальную скорость газовыделения из клеевых швов.
Конструктивно геттер может быть расположен, например, на крышке
вакуумного корпуса с подводкой электропитания нагревателя через
отдельные гермовыводы. К недостаткам такой конструкции следует
отнести возможность повреждения деталей прибора при нагреве гет-
тера до высокой температуры во время активации. Кроме того, если
прибор проходит откачку и обезгаживание при повышенной темпера-
туре, то может иметь место преждевременная активация геттера и его
насыщение выделяющимися газами.
Другое техническое решение связано с использованием в ВГ нере-
генерируемых геттеров с высокой сорбционной емкостью. Такие гет-
96 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 2
