| 
Поиск по ключевому слову "fused silica"
Fabrication of Tuning-Fork Gyroscope Resonator using Directed Chemical Etching of Fused Silica
| Авторы: Kuznetsov V.S., Maiorov D.V., Andreev P.A. | Опубликовано: 13.08.2019 |
| Опубликовано в выпуске: #4(127)/2019 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2019-4-32-44 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Приборы навигации | |
| Ключевые слова: fused silica, hydrofluoric acid, chemical etching, laser, structuring, gyroscope, resonator | |