| 
Все статьи автора "Макеев М.О."
Анализ кинетики электрических характеристик субгармонического смесителя СВЧ-радиосигналов на базе резонансно-туннельного диода под действием эксплуатационных факторов
| Авторы: Черкасов К.В., Мешков С.А., Макеев М.О., Шашурин В.Д., Федоркова Н.В. | Опубликовано: 01.07.2025 |
| Опубликовано в выпуске: #2(151)/2025 | |
| DOI: | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Проектирование и технология приборостроения и радиоэлектронной аппаратуры | |
| Ключевые слова: субгармонические смесители частот радиосигналов, надежность, обеспечение качества, резонансно-туннельный диод, постепенный отказ | |
Исследование характеристик и методов нанесения резиста с применением ИК-спектральной эллипсометрии
| Авторы: Макеев М.О., Зверев А.В., Родионов И.А. | Опубликовано: 23.12.2015 |
| Опубликовано в выпуске: #6(105)/2015 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2015-6-125-134 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Проектирование и технология приборостроения и радиоэлектронной аппаратуры | |
| Ключевые слова: микроэлектронные устройства, литография, резист, центрифугирование, ИК-спектральная эллипсометрия, толщина слоя, оптические константы | |