Применение абразивно-экструзионной обработки при геттерировании кремниевых пластин

Исследован один из способов механического геттерирования кремниевых пластин - абразивно-экструзионная обработка. Результаты исследования позволяют сделать вывод, что экструзия абразивной пасты создает равномерное напряженное состояние по всей поверхности обрабатываемой пластины. Таким образом, возможно применение этого способа в качестве альтернативного метода геттерирования кремниевых пластин.