Рис. 3. Схема интерферометра:
1
— лазер;
2
— коллимирующая система;
3
— вспомогательное сферическое зеркало;
4
— вспомогательное плоское зеркало;
5
— поворотное зеркало;
6
,
9
— объективы;
7
— светоделитель;
8
— эталонное плоское зеркало;
10
— плоскость изображения
вспомогательных зеркал
3
и
4
, направляется двумя пучками соответ-
ственно на гиперболическое и сферическое зеркала.
Отраженные от зеркал пучки идут по тому же пути обратно и
интерферируют на светоделителе
7
с референтным пучком (рис. 3),
отраженным от эталонного плоского зеркала
8
. Объектив
9
фокусиру-
ет изображение интерференционной картины на плоскость изображе-
ния
10
.
Интерферометр выставляется на оптическую ось по плоскому зер-
калуи перекрестию на нем, которое, изменив схемуинтерферометра,
можно использовать в качестве эталонного зеркала интерферометра.
Это даст возможность существенно уменьшить влияние вибраций на
результаты измерений.
При точной настройке интерферометра и идеальных поверхностях
зеркал в плоскости изображения
10
интерферометра будет наблю-
даться две интерференционные картины, разделенные промежутком
q
(рис. 4), соответственно от сферы и от гиперболоида.
Центры интерференционных колец будут находиться на оптиче-
ской оси, а промежуток
q
соответствует расстоянию между зеркалами.
Если в интерферометре использовать в качестве приемника ПЗС,
то при соответствующей математической обработке можно опреде-
лить координаты центров колец и расстояние междуотражающими
поверхностями зеркал.
Координаты центров колец должны быть равны, когда оптические
оси зеркал
1
и
3
совмещены.
28 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2009. № 4
