5. Выставить центр кривизны зеркала
2
на оптическую ось.
При осуществлении операций по пунктам 1, 2, 4 линейные расстоя-
ния
а
1
,
а
3
,
d
1
,
d
2
контролируются с помощью линейного мерительного
инструмента с погрешностью не хуже 0,05 мм.
Для совмещения центров кривизны зеркал
1
и
3
с оптической осью
предлагается метод с использованием интерферометра, создающего
одновременно два волновых фронта: сферический волновой фронт
для зеркала
3
и волновой фронт, падающий по нормали к гиперболи-
ческой поверхности зеркала
1
. Для создания второго волнового фронта
используется метод Максутова — контроль гиперболической поверх-
ности компенсационным методом с помощью сферического зеркала
[4]. Схема интерферометра для совмещения центров кривизны зеркал
1
и
3
с оптической осью приведена на рис. 2. Точечный источник света,
расположенный в точке
М
, через вспомогательные плоское зеркало
4
и сферическое зеркало
2
освещает зеркала
1
и
3
. Точка
М
находится
в центре сферической поверхности
3
(с учетом отражения от плос-
кого зеркала
4
) и на рассчитанном расстоянии от вспомогательного
сферического зеркала
2
. Лучи падают на поверхности зеркал
1
и
3
по
нормали и, отразившись, идут обратно по тому же пути.
Это обстоятельство можно использовать для получения интерфе-
ренционных картин от двух поверхностей одновременно, применив
специальную интерферометрическую схему (рис. 3). Пучок от лазера
1
через коллимирующую систему
2
направляется на светоделитель
7
,
который делит пучок на два — рабочий и референтный. Референтный
пучок отражается от эталонного плоского зеркала
8
и идет обратно.
Рабочий пучок направляется на объектив
6
, который формирует то-
чечный источник на поворотном зеркале
5
, и далее, отразившись от
Рис. 2. Схема интерферометра для совмещения центров кривизны зеркал
1
и
3
с оптической осью:
1
— гиперболоид;
2
— вспомогательное сферическое зеркало;
3
— сферическое зер-
кало;
4
— вспомогательное плоское зеркало;
5
— поворотное зеркало
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2009. № 4 27
