+
ng
2
1
−
n
max
n
t
−
T
2
1
−
n
n
max
2
при
T
2
1
−
n
n
max
≤
t
≤
T.
(8)
На рис. 3 приведены кривые изменения вынужденных колебаний
для первого и второго варианта управления потенциалами, постро-
енные при
n
max
= 7
, частоте ШИМ 10 кГц для различных значений
перегрузок
n
.
При первом варианте управления максимальное значение ампли-
туды колебаний
x
1max
≈
0
,
011
мкм достигается при
n
=
n
max
/
2 = 3
,
5
.
При нулевой (
n
= 0
) и максимальной (
n
=
n
max
) перегрузках колеба-
ния исчезают. Снижение перегрузочной способности подвеса приво-
дит к пропорциональному снижению вынужденных колебаний.
При втором варианте управления колебания достигают максималь-
ного значения
x
2max
≈
0
,
022
мкм при
n
= 0
и уменьшаются до нуля
при максимальной перегрузке.
Сравнительный анализ показал, что максимальный уровень выну-
жденных колебаний при первом варианте управления в 2 раза ни-
же, чем при втором варианте. Кроме того, применение первого ва-
рианта управления исключает колебания при отсутствии перегрузок,
что оправдывает применение этого варианта на объектах, работающих
Рис. 3. Вынужденные колебания при первом (
а
) и втором (
б
) вариантах упра-
вления потенциалами на электродах подвеса для
n
= 2
(
1
), 3,5 (
2
), 5 (
3
) и 0 (
4
)
26 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2014. № 1
