Поиск по ключевому слову "микрооптоэлектромеханический преобразователь"
Расчет балочного микрооптоэлектромеханического преобразователя линейного ускорения на основе оптического туннельного эффекта
Авторы: Бусурин В.И., Макаренкова  Н.А., Зо Лвин Хту | Опубликовано: 24.01.2025 |
Опубликовано в выпуске: #4(149)/2024 | |
DOI: | |
Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Информационно-измерительные и управляющие системы | |
Ключевые слова: микрооптоэлектромеханический преобразователь, линейное ускорение, оптический модулятор, оптический туннельный эффект, чувствительность, погрешность нелинейности, алгоритм расчета |