| 
Поиск по ключевому слову "плазмохимическое травление"
Плазмохимическое травление тонких пленок серебра для приложений плазмоники индуктивно-связанной аргоновой плазмой
| Авторы: Филиппов И.А., Великовский Л.Э., Шахнов В.А. | Опубликовано: 22.12.2020 |
| Опубликовано в выпуске: #4(133)/2020 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2020-4-165-180 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Вакуумная и плазменная электроника | |
| Ключевые слова: фотоника, плазмоника, плазмохимическое травление, технология, моделирование | |