| 
Поиск по ключевому слову "химическое травление"
Технология обработки ситалла на примере травления и очистки моноблока кольцевого лазера
| Авторы: Болотнов А.С., Слитиков П.В. | Опубликовано: 18.03.2020 |
| Опубликовано в выпуске: #1(130)/2020 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2020-1-4-14 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Проектирование и технология приборостроения и радиоэлектронной аппаратуры | |
| Ключевые слова: ситалл, химическое травление, очистка поверхности, оптические приборы | |